판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294469

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 및 고급 광전자 장치 제조에 사용되는 완전한 이중 웨이퍼, 병렬 판 원자로 장비입니다. 플랫폼은 구성 능력이 뛰어나 여러 프로세스 단계를 동시에 정밀하게, 제어할 수 있습니다. AMAT P-5000은 여러 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 물리 패키지 (PCB) 는 시스템의 주요 프로세서로, 다른 모든 컴포넌트 및 프로세스 매개변수를 제어합니다. 여기에는 통합 가스 혼합 제어 장치, 온도 및 압력 센서, 차가운 함정이있는 진공 기계가 포함됩니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 2 개의 대칭 정전기 판 (또는 전극) 이 챔버 양쪽에 배치 된 평행판 원자로 설계를 사용합니다. 이 설계는 처리 효율성 향상, 프로세스 압력 감소, 반응물 가스의 더 나은 감금을 가능하게합니다. 접시는 흑연, 세라믹 또는 금속과 같은 재료로 제작됩니다. 판 사이에 기질이 놓이면서, 공정 챔버 (process chamber) 의 온도 및/또는 압력은 PCB (PCB) 에 의해 조절 된 공기 또는 가스 혼합물로 조절되어 원하는 재료의 성장률을 조작할 수있다. APPLIED MATERIALS P-5000은 RF 에너지를 사용하여 반응물 가스의 이온화를 지원하여 박막 증착에 기여합니다. 전극에 대한 RF 전력은 다른 조건에서 물질 성장을 조사하기 위해 변조 될 수있다. APPLIED MATERIALS P5000은 통합 도량형 기능도 제공합니다. 재료의 가장 얇은 층을 측정하는 몇 가지 광학 탐지 도구 (optical detection tools) 가 장착되어 있습니다. 이들 도구는 샘플을 통과하는 빛의 간섭을 감지하고, 증착된 레이어의 두께 (thickness) 와 샘플의 표면적 (surface area) 을 측정할 수 있습니다. 이것은 노출된 레이어 특성 및 광학 성능 측정에 매우 유용 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 반도체 및 광전자 장치 제작에 단단히 통제 된 공정 환경을 제공하는 매우 효율적인 원자로 도구입니다. 통합 공정 제어, 모듈식 원자로 설계, 도량형 (metrology) 기능이 결합된 P-5000 은 고급 디바이스 Fabricator 를 위한 강력한 툴입니다.