판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294422
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 업계의 광범위한 응용을 위해 설계된 반응 챔버입니다. AMAT P-5000 은 고성능 고출력 (high-throughput) 원자로로, 여러 애플리케이션에 대해 정확한 웨이퍼 가열 및 균일 한 프로세스 조건을 제공합니다. 원자로에는 대규모 공정 챔버 (process chamber) 가 있으며, 대량 생산에 최적화되어 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 정확하고 반복 가능한 처리를 보장하기 위해 뛰어난 온도 분배 균일성을 가지고 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로에는 고품질의 강력한 난방 요소가 두 개 장착되어 있습니다. 여기에는 견고하고 변화하기 쉬운 한 쌍의 쿼츠 슬롯 라이너 (slotted-liner) 어셈블리가 포함되어 있어 함유 가스의 최대 균일성이 허용됩니다. "안전 '" 인터록' 도어 를 갖춘 원자로 의 온도 를 쉽게 조절 하여 최적 의 성능 을 낼 수 있다. 또한 정밀한 프로세스 제어를 위해 최고 품질의 고속 터빈, 진공 시스템, PID 컨트롤러 및 레이저 위치 센서가 있습니다. P5000은 우수한 증착도, 높은 처리량, 웨이퍼 오염을 줄였습니다. 회전하는 회전식 도가니 챔버 (crucible and fast-contacting chamber) 로 인해 기존 원자로보다 최대 75% 낮은 빠른 전송 시간이 특징입니다. 또한, 프로세스 중 추가적인 신뢰성을 위해 거의 0에 가까운 입자 생성 속도를 제공합니다. Applied Material P-5000 원자로는 최대 유연성을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 히터 백사이드 매핑 시스템 (heater backside mapping system) 및 레이저 포지셔닝 센서 (laser-positioning sensor) 와 같은 수많은 액세서리를 마운트하여 매우 정확하고 반복 가능한 처리를 제공합니다. 또한, 증착의 가우스 (Gaussian) 분포는 웨이퍼 전체에 균일 한 증착을 보장하기 위해 조정이 가능합니다. 전반적으로 Applied Material APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 반도체 산업을위한 고성능, 고 처리량 반응 챔버입니다. 강력한 난방 요소, 안전 연동 도어 (Safety Interlock Door) 및 다양한 기능을 갖추고 정확한 프로세스 제어를 제공하는 AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 프로젝트에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻기 위해 이상적인 솔루션입니다.
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