판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291960

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9291960
웨이퍼 크기: 8"
System, 8" (3) WSix Chambers Short elevator.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 처리 응용 분야에 사용하도록 설계된 원통형 플라즈마 원자로입니다. 최대 300mm 직경의 풀 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 고속 펄스 (Fast-Pulse) 고출력 발전기가 장착되어 있습니다. 장비는 플라즈마 생성 및 간섭 억제를 위해 RF 창이있는 단일 프로세스 챔버를 사용합니다. 이 시스템은 균일하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 즉, 생산 시간을 최소화하고 제품 품질을 유지할 수 있습니다. AMAT P-5000에는 독점적 인 플라즈마 어레이 디자인의 고출력 주파수 펄스 생성기가 포함되어 있습니다. 특허를 획득한 이 디자인은 저전력 스위칭 요소와 음극을 활용하며, 수명이 늘어나고 플라즈마 출력이 균일합니다. 주파수 펄스 생성기 (Frequency-Pulse Generator) 를 사용하면 다양한 온도 및 압력 동안 단단히 제어 된 방전을 생성 할 수 있습니다. 이 기술은 안정적이고 안정적인 플라즈마 (Plasma) 프로세스를 보장하며 유지 관리 및 운영 비용을 절감합니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 방패 가스 장치, 내부 가스 소스 및 유통 네트워크가 있습니다. 이 기계를 통해 사용자는 아르곤 (argon), 질소 (nitrogen), 수소 (hydrogen) 와 같은 원하는 공정 가스를 선택하여 사용자가 지정한 비율로, 유속을 플라즈마 챔버로 전달할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 및 증착 프로세스를 철저하게 제어 할 수 있습니다. AMAT P 5000은 정확성과 균일성을 위해 제작되었으며, 가변 압력 제어 도구를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면, 약실 을 원하는 압력 으로 설정 할 수 있으며, 전체 "웨이퍼 '전체 의 균일성 을 보장 할 수 있다. 또한 이 자산에는 통합 프로세스 모니터링 및 진단 모델이 포함되어 있습니다. 이 장비는 각 프로세스 단계의 정보를 기록하고, 사용자는 프로세스 레시피를 보고, 측정하고, 조정할 수 있습니다. P-5000은 반도체 제조 공정을 위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 종합적인 고출력 플라즈마 (Plasma) 와 제어된 균일성 (Unifority) 기능을 통해 사용자는 최고의 수율을 얻을 수 있습니다. 최첨단 기능을 통해 프로세스를 반복, 효율적, 안정적으로 수행할 수 있습니다.
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