판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9279197
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고성능, 닫힌 루프, 다목적 플라즈마 원자로 장비로, 다양한 전자 장치 구조의 정밀 제조를 가능하게합니다. 이 도구는 오늘날의 고밀도, 고해상도 어플리케이션의 엄격한 요구 사항을 충족하는 데 필요한 유연성, 속도, 정확성, 프로세스 제어를 제공합니다. AMAT P-5000 원자로는 강력한 처리 환경과 Ar, O2, H2, N2, He 및 다양한 혼합 가스와 같은 다양한 호환 가능한 공정 가스를 갖춘 독립형 시스템입니다. 또한 박막 에칭 및 증착에서 도핑, 화학/기계 연마 및 화학 증기 증착에 이르기까지 다양한 응용 분야를 완전히 업그레이드 할 수 있으며, 사용자 정의 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 기판 전극 볼트와 가공 챔버의 두 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 기판 전극 보관소 (Substrate electrrode vault) 는 기판 적재 및 언로드 기술을 사용하여 최적의 프로세스 수율을 보장하여 수율을 최적화하도록 설계되었습니다. 가공 챔버에는 주 플라즈마 (plasma), 산란 (scattering) 및 식각 (etching) 하드웨어가 포함되어 있어 정밀 응용 프로그램에 필요한 엄격한 프로세스 제어가 가능합니다. P-5000 원자로는 에너지 효율, 배출량 감소, 잔류 위험 완화 등 다양한 안전, 건강, 환경적 기능을 갖추고 있습니다. 또한 전체 운영 비용과 유지 보수 비용이 낮습니다. APPLIED MATERIALS P5000 (APPLIED MATERIALS P5000) 원자로의 제어 장치는 정밀 프로세스 제어를 보장하고, 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스와 다중 매개변수 프로세스 튜닝 및 최적화 매개변수를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 매우 정확한 디지털 질량 흐름 컨트롤러 (Digital Mass Flow Controller), 통합 압력 컨트롤러 (Integrated Pressure Controller), 통합 온도계 도구 등 다양한 고급 기술 기능이 포함되어 있습니다. AMAT P 5000 원자로는 초박막 에칭 및 침착에서 고정밀 도핑, 연마 및 화학 증발에 이르기까지 다양한 마이크로 일렉트로닉 장치 구조를위한 완벽한 도구입니다. 종합적인 공정 제어, 첨단 기술 기능 및 낮은 유지 관리 작업을 통해, AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 정밀 제조에 이상적인 도구입니다.
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