판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9276777

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ID: 9276777
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1992
CVD System, 6" Moving type: Transfer robot Non-SMIF type Main body AC Rack (2) Trans Monitor rack Heat exchanger Generator rack Mini controller LF Rack Gas cabinet Chamber A and B: CVD Chamber D: Mark II Robot Signal tower (3) RF Generators (3) RF Matchers Cassette module: Normal (3) Heater controllers: Chamber A, B and D Missing parts: Fan board Pneumatic valve Match bracket Mini controller connector damaged Power supply: 208 VAC, 180 A, 3 Phase (WYE), 50/60 Hz 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 균일성과 효율성을 갖춘 고품질 재료를 증강할 수 있도록 개발 된 차세대 증착 도구입니다. 이 특수 증착 장비는 다양한 전자 장치를 연구하고 제작하기 위해 설계되었습니다. 트랜지스터 제작, MEMS, 반도체 및 고급 패키징에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. AMAT P-5000은 다양한 처리 온도 및 설정에서 작동하도록 설계된 유연한 PECVD 챔버를 사용합니다. 따라서 특정 재료를 처리할 때 성능 수준을 높일 수 있습니다 (영문). 챔버 인테리어 (chamber interior) 는 평평한 바닥과 상단이있는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 원통형 모양으로 지어졌습니다. 약실에 연결된 것은 증착원 역할을하는 짧은 동축 선입니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 다양한 재료에 대해 균일 한 증착률을 보장하기 위해 강력한 Linear Deposition Control 시스템을 갖추고 있습니다. 이 통합 기능은 반응성 가스 분사 (reactive gas injection) 와 적용된 바이어스 (bias) 를 결합하여 가스 흐름 속도 및 전력 밀도와 같은 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이러한 제어 수준을 통해 다중 계층 구조 (multi-layer structure) 및 기타 복잡한 아키텍처를 정밀하게 생성할 수 있습니다. 또한 P-5000은 MIM (metal-insulator-metal), 유기 금속 및 금속 유기 프레임 워크와 같은 고급 재료의 저에너지 증착을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 비용 효율적인 장치는 광검출기 (photodetector) 와 광전지 (photovoltaic cell) 와 같은 광전자 장치를 제조하는 데 특히 적합합니다. 유연한 내부 및 제어 기계 외에도 APPLIED MATERIALS P-5000은 안정적인 결과를 위해 우수한 온도 조절을 제공합니다. 챔버 (Chamber) 및 개별 기판에 대한 정확한 열 제어를 가능하게하는 이중 존 (Zone) 수냉식 도구가 장착되어 있습니다. 이러한 온도 제어 수준을 통해 고급 처리 및 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 광범위한 적용 가능한 재료에서 고성능 결과를 제공 할 수있는 혁신적인 증착 자산입니다. 이중 구역 수냉식 장비와 함께 사용되는 고급 증착 제어 모델 (Advanced Deposition Control Model) 은 복잡한 구조를 처리 할 때 향상된 반복성과 안정성을 제공합니다. 그 결과, APPLIED MATERIALS P5000은 연구 개발 및 최첨단 제작에서 다양한 응용 분야에 적합합니다.
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