판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9272623

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 복합 반도체 및 광전자 장치의 제작을 위해 특별히 설계된 고급 처리 원자로입니다. AMAT P-5000은 수직 멀티 슬라이서 (Multi-Slicer) 설계를 사용하여 한 챔버에서 여러 프로세스 단계를 동시에 수행할 수 있습니다. 이 기능은 전체 프로세스의 복잡성을 줄이고 Wafer 처리량을 대폭 향상시킵니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 향상된 현장 퍼징 장비 (in-situ purging equipment) 가 있으며, 에칭 및 증착 과정에서 지속적인 저압 환경을 유지하고, 미립자 오염을 최소화하고, 제작중인 구조물의 균일성을 유지하는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 필름 두께, 깨끗한 인터페이스, 낮은 결함 농도의 탁월한 균일성을 제공하여 고품질 구조의 형성을 용이하게합니다. 온도와 압력, 가스에 대한 자동 현장 모니터링을 통해 제거 시간 (purging time), 온도 경사 (temperature ramps), 압력 설정 (pressure settings) 과 같은 처리 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 컨트롤을 사용하면 프로세스 성능을 최적화하여 복잡한 구조에 필요한 결과를 얻을 수 있습니다. P-5000 의 고급 리소그래피 (lithography) 기능을 통해 결함 비율을 낮추고 중요한 치수 제어를 향상시켜 단순하고 복잡한 패턴화를 만들 수 있습니다. 이 시스템은 두 개의 트랙 기능을 제공하여 두 개의 리소그래피 (lithography) 단계를 연속적으로 수행하거나 동일한 웨이퍼에서 병렬로 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 작은 피쳐 크기로 고해상도 패턴화 (high resolution patterning) 를 지원하여 고밀도 구조를 제작할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 (APPLIED MATERIALS P5000) 은 자동화된 프로세스 제어 머신 외에도 통합 도량형 툴을 제공하여 패턴 등록, 필름 두께 등의 웨이퍼 매개변수를 온라인으로 모니터링할 수 있습니다. 이 고급 자산 (advanced asset) 은 프로세스 성능에 대한 실시간 평가를 용이하게 하며, 프로세스 매개변수의 최적화 및 중요 치수 균일성 모니터링을 지원합니다. P5000은 복합 반도체 및 광전자 장치 제작을위한 이상적인 고급 처리 플랫폼을 제공합니다. 고급 프로세스 제어, 리소그래피 및 도량형 기능뿐만 아니라 높은 처리량과 뛰어난 균일성 (unifority) 을 통해 AMAT P 5000은 복잡한 반도체 구조의 제작에 적합한 선택이 됩니다.