판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9255616

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고온 환경에서 액체 재료를 처리하도록 설계된 원자로 유형입니다. 일반적으로 금속, 다이아몬드 같은 탄소, 붕소와 같은 다른 재료의 박막을 퇴적시키는 데 사용됩니다. 특히 화학 증기 증착 (CVD) 응용 분야의 공정 제어에 유용합니다. AMAT P-5000은 수직로드, 열 화학 증기 증착 (CVD) 원자로이며, 이는 열 화학 증착 및 냉벽 공정을 모두 할 수 있음을 의미합니다. PECVD (plasma-enhanced CVD) 챔버로, 대상 기판에 매우 얇은 층의 물질을 배치하는 기능이 있습니다. 공정 창 (process window) 이 있는 큰 구형 챔버 (spherical chamber) 가 특징이며, 이를 통해 대상 기판을 제어 환경의 다양한 가스에 노출 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000도 신뢰성이 높고 효율적이어서 CVD 어플리케이션에 적합합니다. 원자로는 30KW RF (무선 주파수) 발전기로 구동됩니다. 온도 모니터링 및 제어를 위해 고급, 에너지 효율 난방 요소 및 이중 온도코플이 특징입니다. 주 처리 챔버에는 프로세스 가스 압력 및 비율을 변화시키는 조정 가능한 RF 전원 옵션 또는 2 개의 별개의 아날로그 출력 (analog output) 이 있습니다. 또한 P 5000 은 디지털 타이머, 수동 시작/중지 기능, 프로그래밍 가능한 타이머 등 다양한 사용자 친화적 기능을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 최대 1000 ° C의 온도와 100 Torr의 낮은 압력에서 작동 할 수 있습니다. 또한 샘플로드 시스템이 장착되어 있으며, 최대 8 개의 샘플이 자동으로 로드됩니다. 프로세스 레시피에 따라 샘플을 이동할 수있는 내장형 포지셔너 (positioner) 도 있습니다. P-5000은 균일성, 고증착율, 낮은 입자 배출, 뛰어난 표면 및 구조적 특성을 갖춘 고품질 박막을 생산할 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS P5000은 강력하고 안정적인 CVD 원자로입니다. 조절 가능한 RF 전원, 고급 난방 요소, 이중 열전대, 샘플 로딩 시스템 및 프로그래밍 가능한 타이머를 갖춘 고효율적입니다. 박막 응용 프로그램에 적합하며, 최적의 박막 품질, 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다.