판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9249468

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ID: 9249468
CVD System, 6" Install type: DLH Wafer shape: Lamp heated EMO Type: Turn to release Gas panel: (3) Chambers Clean system: RF Clean AC Rack Generator rack Monitor rack Heat exchanger (3) Chamber type: Chamber A: DLH SA Chamber Chamber B: DLH SA Chamber Chamber D: DLH SA Chamber Loadlock: 8 Slots Cassette, 6" Vent type: Variable speed Mainframe: Buffer robot type: P5000 Buffer robot blade: Blade Status light tower Remote monitor: Table mount Sub-system: AMAT-0 Chiller (3) ADTEC AX-1000AM II RF Generators Electrical configuration: Line voltage: 208 V Full load current: 180 A Frequency: 50/60 Hz CE Marked 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 균일하고 반복 가능한 처리 결과를 제공하기 위해 특별히 설계된 열 처리 챔버입니다. 원자로 (reactor) 는 균질한 온도 및 대기 제어가 필요한 광범위한 진공 기반 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. AMAT P-5000은 동시에 사용할 수있는 2 개의 별도 구획을 갖춘 고급 듀얼 챔버 (dual-chamber) 설계를 갖추고 있습니다. 통합 웨이퍼 (wafer) 운송 장비를 사용하면 다양한 샘플 크기의 이동을 쉽게 조작하고 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 두 개의 기본 컨트롤러 (주 제어 장치, 로드 잠금 컨트롤러) 가 포함되어 있으며, 이 컨트롤러는 서로 다른 구성으로 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 유닛 (APPLIED MATERIALS P 5000 Unit) 은 다양한 동적 제어 기능을 제공하여 원하는 성능 결과를 얻을 수 있도록 프로세스를 정확하게 세밀하게 조정합니다. 기계는 10 ° C ~ 800 ° C 사이의 균등하게 분산 된 온도를 보장하는 자체 제거, 박막 링 난방 요소로 구동됩니다. 또한이 도구에는 강력한 공기 급식 냉동 장치 (cryopump) 가 장착되어 빠른 진공 작동을 보장합니다. 또한, 견고한 수냉식 송풍기는 완전히 포함되어 있고 왜곡되지 않은 처리를 보장하여 고정밀 결과를 제공합니다. 다용도 P-5000 원자로에는 조정 가능한 고성능 뚜껑이 장착되어 있어 예제 회전 목마에 쉽게 접근 할 수 있습니다. 뚜껑은 2 챔버 구성 내에 4 개의 다른 회전 목마를 수용하여 충분한 샘플 용량을 제공합니다. 고급 유연성을 통해 사용자는 둥근 (round), 사각형 (square), 사각형 (rectangular) 등 다양한 웨이퍼 크기와 모양을 설치할 수 있습니다. P5000 원자로에는 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있는데, 이는 유해 물질을 다룰 때 매우 중요합니다. 산업용 챔버 (camber seal) 자산은 화학적 노출 및 잠재적 사고에 대한 중요한 보호를 제공하는 반면, 통합 비상 정지 (Emergency Stop) 모델은 운영 통제 손실을 방지합니다. 또한 P 5000 은 고급 데이터 로깅 기능, 이더넷 접속 등 다양한 소프트웨어 기반 기능을 제공합니다. 이 장비는 데이터 익스포트/임포트에 대한 간편하고 안전한 온라인 액세스를 제공하며, 프로세스 모니터링, 자동화된 데이터 획득 등을 위해 기존 팩토리 네트워크로의 고급 통합을 지원합니다. 전반적으로, AMAT P5000은 광범위한 고정밀 진공 프로세스 동안 고급 균일성, 반복 성, 유연성 및 보안을 제공하도록 특별히 설계된 고급 열 처리 챔버입니다.
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