판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9248920

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 전자 및 광전자 응용 프로그램의 에피 택시 성장을 위해 설계된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 다양한 기판에 여러 재료의 고품질 에피 택시 레이어 (epitaxial layer) 를 고도로 증착시킬 수 있습니다. 원자로에는 150mm 평행 판 장비가 있으며, 이는 다른 크기로 확장 할 수 있습니다. AMAT P-5000 원자로는 4 개의 고유 한 공정 플라즈마를 특징으로한다: 유도 결합 플라즈마 (ICP), 직류 (DC) 또는 펄스 DC (PDC) 소스. 10-100 밀리토르 범위의 플라즈마를 유지할 수 있습니다. 저전력, 고효율 프로세스에 최적화되었으며, 초고속 에피택시 (epitaxy) 에 대한 광범위한 프로세스 압력 및 증착률을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 시스템에는 고급 가스 전달 모듈과 유연한 원자로 간 챔버가 포함됩니다. 이 장치에는 실시간 챔버 압력 모니터링 (real-time chamber pressure monitoring) 과 같은 다양한 진단 도구가 장착되어 있습니다. 현장 및 실시간 증착율 모니터링; 가변 소스 파워; 냉각 기능이있는 기판 온도 제어; 자동 엔드 포인트 감지; 통합 된 다중 파장 분광법. 모든 진단 도구는 실시간 제어를 기반으로 프로세스를 최적화하여 프로세스 시간 (process time) 을 단축하도록 설계되었습니다. AMAT P 5000 기계는 기판 영역 전체에서 뛰어난 온도 균일 프로파일을 제공합니다. 이를 통해 균질한 박막 레이어 증착과 더 나은 수율을 허용합니다. 원자로는 암모니아 기반 공정 및 다른 화학 물질과 함께 사용하도록 최적화되었습니다. 이 도구는 사용 편의성과 처리량이 많은 작업을 위해 설계되었습니다. 자동 진단 (automated diagnostics) 과 레시피 (recipe) 를 사용하여 사용자가 신속하게 프로세스와 조정 가능한 매개변수를 선택할 수 있도록 설정하고 조정하기 쉽습니다. P5000 자산은 모델 기반 제어 소프트웨어 및 데이터 비주얼라이저 소프트웨어와의 호환성을 위해 설정됩니다. 결론적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 저전력, 고효율 프로세스에 최적화된 고급 PECVD 모델입니다. 고품질 박막 증착, 균일성, 신뢰성을 보장하는 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한 최대한의 정밀도를 위해 다른 고급 프로그래밍 옵션과 함께 설치 (setup) 및 보정 (calibrate) 이 용이합니다.