판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9238728
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판매
ID: 9238728
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
CVD System, 8"
Process: SION
Process chamber A, B & D: SION
RF Generator type:
Chamber A & B: OEM-12B
Chamber D missing
Dry pump type:
Chamber A, B, D & L/L: EDWARDS QDP40 / QMB250
Throttle valve type:
Chamber A, B & D: Non heated
VME System:
20 Slots
CPU: Synergy
Video: VGA
SEI
(2) AI
(2) AO
(4) DI/DO
(4) Steppers
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Process kit type:
Chamber A, B & D: SIN
Manometer type:
Chamber A: MKS 122B 11441S
Chamber B & D: MKS 122B 11441
RF Matching box type:
Chamber A, B & D: 0010-09750 DR
System electronic type:
(2) TC Gauges
Buffer I/O
AI MUX
(2) OPTO
(4) Choppers
+12VPS
+15VPS
-15VPS
Storage elevator: 8 Slots
Cassette handler: Phase III, top clamp
Robot: Phase III
Blade: Phase III
I/O Wafer sensor
Load lock purge
Heat exchanger:
AMAT0:
Connect to chamber A, B & D: Wall / LID
Main frame front type: Through-the-wall
Standard remote frame
TC Gauge type:
Chamber-A Rough: VCR
Chamber-B Rough: VCR
Chamber-D Rough: VCR
L/L Rough: VCR
L/L Chamber: VCR
Lamp module type:
Chamber A, B & D: STD 0010-09337
Mini-con
Magnet driver type:
Chamber A: P/N 0010-50169
Chamber B & D: P/N 0015-09091
Gas panel type: (28) Gases
MFC Type (Main):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
B / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
A / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
D / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
MFC Type (Remote):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
B / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 실리콘, 유리 및 세라믹스와 같은 재료의 증착에 사용되는 원자로, 특히 긴 배럴, 고온 확산 로입니다. 이 장비는 매우 안정적인 작동을 제공하도록 설계되었으며, 여러 가지 기능을 통해 다양한 업계에서 사용할 수 있습니다 (영문). AMAT P-5000 은 빠른 열 처리를 제공하도록 설계되었으며, 이는 고품질 제품을 생산하는 데 매우 유익하며, 결함률이 낮습니다. 이는 팬 강제 공기 순환 시스템, 디지털 터치 스크린 인터페이스, 사용자 프로그래밍 가능한 설정 (array of user-programmable settings) 과 같은 다양한 기능 덕분에 달성됩니다. 디지털 터치 스크린 인터페이스 (Digital Touch Screen Interface) 는 사용하기 쉽고 설정의 작업 및 사용자 정의를 신속하게 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 또한 긴 배럴 설계를 특징으로하여 전체 배럴에서 일관된 온도를 보장합니다. 재순환 장치 (recirculating unit) 덕분에 온도 균일성이 더욱 향상되어 배럴 전체에서 일관되고 균일 한 온도를 유지합니다. 또한, 이 기계에는 안전한 작동을 보장하기 위해 다양한 안전 기능 (예: 자동 차단 (auto-off) 및 자동 압력 해제 (automatic pressure relief) 장치) 이 포함되어 있습니다. AMAT P 5000은 실리콘, 유리, 도자기 등 다양한 재료를 수용하도록 설계되었습니다. 이 로 인해, 원자로 는 전자, 자동차, 항공 우주 등 여러 가지 산업 에서 사용 될 수 있게 되는데, 이것 은 매우 고품질 의 완제품 을 생산 하기 위한 것 이다. 그렇다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS P5000은 긴 배럴, 고온 확산 로로, 빠른 열 처리 및 고품질 제품을 제공하도록 설계되었습니다. 이 원자로는 안전하고 일관되게 작동하기 위해 팬 강제 공기 순환 도구 (fan-forced air circulation tool) 및 디지털 터치 스크린 인터페이스 (digital touch-screen interface) 와 같은 기술적으로 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 그 로 인해 여러 가지 다른 재료 들 을 처리 할 수 있으며, 여러 산업 에 성공적 으로 사용 될 수 있는데, 이것 은 훌륭 한 질 의 완제품 을 생산 하기 위해서이다. "뉴우요오크 '는 이렇게 말 한다.
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