판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226604

ID: 9226604
빈티지: 1996
Poly etcher 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 고성능, 고성능, 대용량 플라즈마 침입 이온 이온 이식 (PIII) 장비입니다. 배치 유형 시스템 (batch-type system) 으로, 컴포넌트가 플라즈마가 생성되는 밀폐된 챔버에 배치됩니다. AMAT P-5000은 직경 최대 8 ", 길이 최대 12" 의 기판을 처리 할 수 있으므로 대규모 생산에 적합합니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 다른 PIII 시스템과 분리되는 몇 가지 특징이 있습니다. 이 제품은 고주파 및 저주파 안테나 구성 요소를 갖춘 3 존 맞춤형 RF 필터 뱅크를 갖추고 있습니다. 이러한 필터는 필요 없는 전원 롤오프를 최소화하고 낮은 주파수 처리를 보장합니다. 이 장치는 배치 (Batch) 또는 연속 (Continuous) 모드로 작동 할 수 있으며, 운영자는 용접 시간을 제어하고 온도를 처리하여 처리량을 최대화할 수 있습니다. 머신의 기능에는 자동 피쳐 인식 (Automated Feature Recognition) 과 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있는 기능 (Capture) 도 포함되어 있어 최고 수준의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 수동 전송 및 처리를 제거하여 후처리를 단순화하는 전극 (electrrodes-in-the-tank) 설계를 특징으로합니다. P-5000 은 또한 강력한 진공실과 최대한의 가동 시간 및 처리량을 제공하는 오래 지속되는 소재를 갖추고 있습니다. 챔버 (chamber) 는 매우 높은 진공을 위해 설계되었으며, 빠른 기판 전달을위한 통합 하중 잠금 (load-lock) 과 미립자 오염을 최소화하는 고류 플러시 도구 및 RF 케이지를 포함합니다. 이 챔버에는 멀티 포인트 (multi-point) 고속 샘플 로딩 기능이 있으며, 이 기능을 통해 운영자는 챔버 안팎으로 빠르게 기판을 전송하고 전체 처리 시간을 향상시킬 수 있습니다. 또한 P5000은 구성 가능하고 사용자에게 친숙한 제어 자산을 제공합니다. 통합 Windows 기반 인터페이스는 프로세스 모니터링, 데이터 로깅, 레시피 제어 (Recipe Control) 등의 고급 기능을 통해 모델 운영을 단순화하여 효율성을 극대화합니다. 이 장비는 또한 프로세스 제어 및 모니터링을 위해 고객이 제공하는 소프트웨어를 통합할 수 있습니다. AMAT P 5000은 대규모 생산 작업에 적합한 제품입니다. 강력한 디자인과 고성능 (HPS) 기능을 통해 성능을 극대화할 수 있고, 최종 결과도 우수하므로, 많은 운영 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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