판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226597
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 원자로입니다. 코팅 (coating), 필름 (film), 유전체 (dielectric) 와 같은 다양한 박막 증착 응용 분야에 적합한 다용도 도구입니다. 이 최첨단 장비는 질소, 헬륨, 아르곤을 공정 가스로 사용하며, 독특한 마이크로 웨이빙 플라즈마 소스와 함께 작동합니다. AMAT P-5000 은 고품질의 박막 (Thin Film) 을 매우 정확하고 반복적으로 증착할 수 있어, 최소한의 변동성으로 매우 정밀도가 필요한 프로덕션 수준의 박막 (Thin Film) 어플리케이션에 적합합니다. 이 장치의 기능은 큰 챔버 크기 (chamber size) 로 백업되며, 대규모 구조에서 훨씬 작은 구조에 이르기까지 하나의 실행으로 크고 다양한 필름 (film) 과 코팅 (coating) 을 배치 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 (응용 자료 P 5000) 은 또한 고급 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 전체 증착 프로세스를 최적으로 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 증착 컨트롤러, 진단 컨트롤러 및 IFET (Ionized Film Confirmation Technology) 으로 구성됩니다. 이 컨트롤러 어레이는 장치의 TQC (Total Quality Control) 시스템과 통합되어 있으며, 이 시스템은 장치의 고정밀 센서와 통합되어 있습니다. 전용 프로세스 컨트롤러, 진단 컨트롤러 및 IFET도 APPLIED MATERIALS P-5000의 차세대 소프트웨어 기능과 통합됩니다. 또한, P 5000 은 운영자에게 잠재적인 문제를 경고할 수 있는 통합 장애 감지 시스템 (Fault Detection System) 을 통해 신속하게 수정할 수 있습니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 최적의 프로세스 반복성을 제공하는 반면, 생산 된 박막의 무결성과 품질을 보장하는 액티브 냉각 기술을 통합합니다. 이 장치는 또한 이동식 상단 플래튼 (top platen) 과 단단히 설계된 상단 덮개 (secure, dust tight enclosure) 를 갖추고 있습니다. 즉, 디바이스에 있는 환경의 순도 (purity) 를 보장하고 외부 손상 또는 오염으로부터 보호합니다. 결론적으로, P-5000 (P-5000) 은 다양한 박막 증착 응용에 적합한 고급 다용도 장비입니다. 고품질 박막 (Thin Film) 과 코팅 (Coating) 의 정밀 증착이 가능하며, 고급 프로세스 컨트롤러, 센서 및 소프트웨어 기능이 장착되어 있으며, 견고하게 설계된 상단 덮개로 보호됩니다. 이 제품은 효율성 및 품질 (quality) 을 최적화하여 반복 처리 결과를 제공할 수 있는 강력하고 신뢰할 수 있는 툴입니다.
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