판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9201852

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고급 고급 플라즈마 에칭 원자로입니다. 매우 다양한 재료에서 마이크로 사이즈 (micro-size) 에서 매크로 사이즈 (macro-size) 에 이르기까지 복잡한 구조를 만들고 에칭 할 수 있습니다. 일반적으로 반도체 산업에서 포토 마스크, 도금, 칩 포장, 웨이퍼 제조 등 고정밀 처리에 사용됩니다. AMAT P-5000은 듀얼 모드 디스 미어 (desmear) 및 패시베이션 모듈 (passivation module) 을 사용하여 원자로가 에칭 및 패시베이션 기능을 동시에 수행 할 수 있습니다. 데스 미어 모듈 (desmear module) 은 매우 균일 한 표면 형태를 생성 할 수있는 반면, 수동화 모듈은 표면에 보호 코팅을 제공 할 수 있습니다. 이것은 원자로의 성능과 정확도를 향상시켜, 매우 정확한 에칭을 가능하게합니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 2 개의 다중 세그먼트 처리 챔버가 있습니다. 이러 한 약실 은 "에칭 '조건 을 독립적 으로 조정 하도록 설계 되어 있으며, 넓은" 에칭' 을 가능 하게 한다. 약실은 작동 온도, 플라즈마 파워, 플라즈마 챔버 내부의 압력 (pressure) 과 같은 매개변수를 제어하도록 구성 될 수 있습니다. 이를 통해 최종 결과에는 최적의 에치 특성이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000에는 에칭 기능 외에도 고급 현장 청소 모듈이 장착되어 있습니다. 이 "모듈 '은" 에치' 를 하기 전 에 기판 에서 미립자 물질 을 제거 하는 데 사용 될 수 있으며, 기판 의 손상 을 방지 하고 보다 정확 한 "에칭 '결과 를 얻을 수 있다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS P5000 은 여러 전기 통신 시스템 (Electrical and Communication Systems) 에서 실행되므로 기존 운영 라인에 원활하게 통합할 수 있습니다. 이를 통해 원자로 (Reactor) 는 다른 시스템과 쉽게 통신할 수 있고, 원격에서 작업을 제어할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 프로세스를 간소화하고 다운타임을 줄이고 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 P 5000은 시장에서 가장 발전된 에칭 시스템 중 하나입니다. 고급 에칭 기능, 수동화 (passivation) 및 내부 클리닝 (in-situ cleaning) 의 조합으로 정밀 생산 라인에 이상적인 선택이 가능합니다. 또한, 기존 프로세스와 시스템에 쉽게 통합할 수 있는 기능은 '산업 및 연구 응용프로그램 (industrial and research application)' 을 위한 매력적인 옵션입니다.