판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196360

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9196360
웨이퍼 크기: 8"
SACVD System, 8" PLIS System Process: USG BPSG Robot Storage elevator Chemical gas cabinet (3) Chambers (3) Ozone generators (3) RF Generators.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor (AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor) 는 다양한 고성능 플라즈마 처리 툴로서 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하는 고품질 결과를 제공합니다. 정밀 에칭, 증착 및 표면 수정 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. AMAT P-5000은 이중 공정 챔버, 통합 로봇 로딩 시스템 및 고급 플라즈마 제어 알고리즘을 갖춘 인라인, 배치 형 장비입니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 고급 멀티 소스 플라즈마 전달 시스템과 완전자동 프로세스 제어 (fully-automated process control) 기능을 결합하여 탁월한 수준의 프로세스 제어, 반복 가능성 및 제품 품질을 제공합니다. AMAT P5000의 고급 프로세스 제어 기술에는 프로세스 요구 사항에 따라 가스와 플라즈마 매개변수를 실시간으로 조정하는 최첨단 클로즈드 루프 (closed-loop) 제어 장치가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 높은 품질의 결과를 보장하면서 프로세스 반복성과 정확성이 향상됩니다. AMAT P 5000은 또한 N2, O2, CF4 및 SF6을 포함한 다양한 공정 가스를 생성 할 수있는 다양한 고급 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 이러 한 "가스 '원 이 있는 것 은 기계 의" 에치' 와 증착 기능 을 향상 시키는 고급 공정 조리법 을 사용 할 수 있게 해 준다. APPLIED MATERIALS P-5000 은 또한 높은 수준의 프로세스 제어 유연성을 제공하여 작업 중 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 공구는 최소한의 폐기물로 양질의 제품을 생산할 수 있습니다. 또한, 에셋을 통해 연산자는 애플리케이션의 특정 요구에 따라 프로세스 변수를 조정할 수 있으며, 이를 통해 튜닝된 프로세스 최적화 (tuned-process optimization) 를 수행할 수 있습니다. 이 시설은 외부 프로세스 제어 장비 (external process control equipment) 와 쉽게 통합되어 보다 복잡한 프로세스를 정확하게 수행 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor는 생산 수준 성능 및 고급 프로세스 기능을 위해 설계된, 다용도 및 견고한 플라즈마 처리 모델입니다. 고급 제어 알고리즘 (advanced control algorithms), 통합 로봇 공학 (integrated robotics) 및 다용도 가스 소스 (versatile gas source) 옵션은 정확한 프로세스 제어 정확성이 필요한 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 높은 처리 능력과 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 신속하게 조정하는 기능을 통해 시간과 비용 효율성이 중요한 운영 수준 (production-level) 구현을 위한 매력적인 솔루션이 됩니다.
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