판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9195790

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9195790
웨이퍼 크기: 8"
Nitride system, 8" (4) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 재료의 고급 생산에 사용되는 고급 원자로입니다. 반도체 개발, 엔지니어링, 제조에 널리 사용되는 업계 표준 장비 중 하나입니다. AMAT P-5000 원자로는 여러 가지 첨단 기술과 공정을 활용하여 고품질, 신뢰성 있는 반도체를 생산합니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 2 개의 소스 챔버, 2 개의 공정 챔버 및 제품 챔버를 갖춘 최첨단 원자로입니다. 2 개의 소스 챔버는 전용 소스 재료 전달을 가능하게하며, 2 개의 프로세스 챔버는 동시 증기 상 및 액체 상 처리 옵션을 제공합니다. 제품 챔버 (Product Chamber) 는 제품 재료 및 제품을 저장하며, 생산 중 깨끗한 환경 조건을 보장하기 위해 프로세스 챔버와 분리됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 탁월한 패턴 균일성을 위해 혁신적인 3D 램프 디자인과 함께 쿼츠 반응 챔버를 사용합니다. 세 개 의 커다란 "램프 '를 가진 이 등불 은 전체 표면 에 걸쳐 빛 의 균등 한 분포 를 만들어 낼 수 있으며, 그 결과" 에치' 모양 이 균일 하다. 쿼츠 챔버 (Quartz Chamber) 는 진공 성능 향상에도 사용되므로 뛰어난 결과를 제공하는 고정밀 에칭이 가능합니다. 또한, 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 의 자동 및 원격 모니터링은 생산 과정에서 더 나은 제어 및 피드백을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 온도 제어 기술을 통해 전체 공정 챔버에서 정밀한 온도 제어를 할 수 있습니다. 이것 은 모든 층 의 물질 을 고르게 가열 시켜, 균일 한 "에칭 '과 침착 을 보장 해 준다. 고효율 냉각 시스템을 통해 챔버 (chamber) 를 신속하게 냉각시켜 생산에 소요되는 시간을 단축하고 제품 품질을 높일 수 있습니다 (영문). 또한, P5000에는 모든 자동화 툴이 장착되어 있어 효율적이고 신뢰할 수 있는 시스템입니다. 여기에는 온도 조절 로봇 암, 자동 로드 잠금 잠금 해제 시스템, 자동 프로세스 챔버 클리닝 시스템 등의 도구가 포함됩니다. 또한 P-5000 은 다양한 센서와 데이터 로거 모니터 (Data Logger Monitor) 를 제공하여 Reaction Chamber 온도 및 기타 조건을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 요약하면, P 5000 원자로는 고품질 반도체 개발, 생산에 사용되는 고급, 업계 표준 장비입니다. 석영 반응 챔버 (quartz reaction chamber) 와 혁신적인 램프 (lamp) 디자인은 우수한 균일성을 보장하는 반면, 온도 조절 로봇 암 및 기타 자동화 도구는 효율적인 생산을 보장합니다. "센서 '와" 데이터 로거' 모음 을 사용 하면, 사람 들 은 좀더 현명 하게 일 할 수 있다.
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