판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9195270

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 특수 전기 화학 증착 또는 에칭 작업에 사용되는 플라즈마 공정 원자로입니다. 이 원자로는 최대 2 × 10-3 torr의 챔버 압력으로 최대 50kW의 플라즈마 힘을 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 공정 원자로에는 통합 웨이퍼 로더 및 언로더, 통합 클리닝 시스템 및 강력한 조명 시스템이 포함됩니다. AMAT P-5000 원자로에는 정전기와 고온에 대한 차폐를위한 금속 및 세라믹 성분으로 구성된 공정 챔버 (process chamber) 가 있습니다. 챔버의 금속 성분은 가스 타이트 (gas tight) 이며, 공정 (process) 과 배기 챔버 (exhaust chamber) 사이의 완전한 보어 분리를 포함하여 효율적인 오프 가스 취급이 가능합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 수소, 헬륨, 질소 및 산소를 포함한 다양한 가스 대기에서 작동합니다. 또한, 플루오로 카본, 염산 및 기타 유기 가스를 처리 할 수있는 기능이 있습니다. 원자로 챔버에는 단일 단계 PEM 인터페이스가 있으며, 여기서 증착은 동시에 여러 기질에서 수행된다. 증착 또는 에칭 과정은 저전압 DC 전류원으로 제어됩니다. 반응물은 챔버의 외부 둘레 주변에 위치한 주입 포트 (injection port) 를 통해 직렬로 주입 된 가스입니다. 그런 다음 플라즈마의 에너지는 기질로 향합니다. 이 "에너지 '는 반응물 과 기질 물질 사이 의 결합 을 끊기 에 충분 하여 증착 과정 을 허용 한다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 원자로에는 통합 웨이퍼 로딩 시스템이 포함되어 있어 최대 12 개의 기판을 한 번에 로딩 및 언로드할 수 있습니다. 이 "시스템 '에 사용 되는" 로봇' 암 은 적재 및 하역 에 대한 인간 의 개입 을 최소화 하기 위해 설계 되었다. 통합 elctro-cleaning 시스템은 프로세스 간 빠른 클리닝을 제공하며, 조명 시스템은 작동 중 시각적 액세스를 제공합니다. AMAT P5000 (AMAT P5000) 은 광범위한 산업, 연구 및 학술 환경 내에서 복잡한 전기 화학 증착 또는 에칭 공정을위한 다재다능하고 유능한 원자로입니다. 이 원자로는 리소그래피, MEMS 및 반도체 제조와 같은 많은 응용 분야에 적합합니다.