판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9194265

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ID: 9194265
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체, 디스플레이 및 기타 광전자 장치 (optoelectronic device) 와 같은 제품을 만들기 위해 기판에 얇은 재료 층을 추가하는 데 사용되는 원격 플라즈마 증착 장비입니다. AMAT P-5000은 원격 플라스마가 통합 된 고급 올인원 증착 챔버 (All-in-one deposition chamber) 로, 대용량 제조 및 연구 개발 응용 프로그램에서 단일, 다결정 및 에피 택시 계층의 효율적이고 저온 처리를 가능하게합니다. 이 시스템은 비정질 실리콘 (a-Si) 투옥 사이드 (SiO2) 에서 질화물 (Si3N4) 에 이르기까지 엄청나게 광범위한 재료를 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 유전체, 금속, 세라믹, 절연체 및 반도체와 같은 다양한 하이브리드 재료의 개발 및 증착을위한 다재다능한 도구입니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 시장에서 사용 가능한 가장 큰 증착 지역 중 하나를 제공합니다. 큰 챔버는 회전하고 기울일 수있는 하나의 350x350mm2 기판을 수용합니다. AMAT P5000 디자인은 기판을 기존 증착의 고온에 노출시키지 않고 저온 증착을 허용합니다. 이 장치는 또한 4- 기판에 걸쳐 전형적인 균일성 (+/- 3%) 의 +/- 3% 로, 필름 두께의 뛰어난 균일성과 기판 전체 표면에 균일성을 제공합니다. AMAT P 5000 (AMAT P 5000) 은 공정에 대한 고급 제어 기능을 제공하며, 증착실 내 환경을 모니터링 및 제어하는 다양한 옵션을 제공합니다. 프로세스 매개변수는 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 제어할 수 있으며, 정교한 명령 및 제어 프로세스에 대해 회사의 기존 프로세스 제어 머신과의 완전한 통합을 사용할 수 있습니다. P 5000 은 3 중 잠금 안전 도어와 CE 및 UL 승인 모두에 대한 인증을 통해 가장 높은 안전 수준을 고려하여 설계되었습니다. P-5000 설계는 UL 및 CE 지침 (압력 및 온도 센서, 폭발 방지 부품) 을 기반으로 하여 안전성을 보장합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원격 플라즈마 증착 도구 (remote plasma deposition tool) 는 수많은 응용 프로그램에서 광범위한 재료를 증착하기위한 다용도 및 효율적인 도구입니다. 고급 기능에는 뛰어난 균일성, 저온 증착, 종합적인 프로세스 제어 및 안전 인증이 포함되며, APPLIED MATERIALS P5000은 얇은 재료의 증착을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다.
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