판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9190859

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 광범위한 응용 분야를 위해 새로운 원자로 공학을 전형화합니다. 필름 및 코팅 프로세스에 이상적인 완전 자동화 된 혈장 열 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 정밀한 제어를 통해 광범위한 재료를 증착할 수 있는 첨단 (advanced) 장비다. 인라인 PECVD 시스템으로서, 속도, 품질, 제어성을 갖춘 높은 처리량을 제공할 수 있습니다. AMAT P-5000 은 단일 포트 다목적 설계를 갖춘 견고하고 안정적인 프로세스 챔버로 설계되었습니다. 이 포트는 다양한 기판 소개 (옵션), 샘플 전송, 가스 전달 및 샘플 제거 하드웨어가 장착 된 다목적 모듈입니다. 이 "에너지 '는 약실 내부 의 광범위 한 온도 와 압력 에 대하여 제어 된 온도 와 정밀 한 강착 속도 를 제공 하도록 설계 되었다. 약실은 정확한 온도 조절을 통해 저압과 고압을 모두 유지할 수 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 내구성과 긴 수명을 보장하는 강화 된 세라믹 벽으로 설계되었습니다. 또한 정확한 플라즈마 제어 및 정확한 온도 측정이 특징입니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 정확한 기판 제어를 위해 멀티 축 로봇이 장착되어 있습니다. 제어 장치는 원자로 컴퓨터에 통합 된 정확한 PLC 기반 로봇 컨트롤러로 구성됩니다. 다중 축 기판 위치를 위해 정확한 작동과 정확한 이동 제어를 제공합니다. 또한 정확한 PLC 컨트롤러는 온도, 압력, 기판 크기, 증착 영역, 증착 각도 및 가스 흐름 속도를 포함한 증착 매개 변수를 제어 할 수 있습니다. 이 원자로에는 고성능 모션 컨트롤러 (Motion Controller) 가 있으며 기판 크기, 각도, 위치 기능이 다른 여러 개의 도구 팁으로 구성할 수 있습니다. 또한 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 를 포함한 고급 소프트웨어도 제공합니다. 일반적인 작동 성능 측면에서 P5000에는 고급 온도 조절 도구 (Advanced Temperature Control Tool) 가 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 증착 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 뛰어난 프로세스 반복 가능성, 실시간 이미지 분석, 단일 레시피의 높은 반복 가능성, 광범위한 증착 창 (deposition window) 을 제공합니다. 게다가, 이 강력한 자산은 생산성을 높일 뿐만 아니라, 구성요소 및 제품 선행 시간을 대폭 절감합니다. 간단히 말해, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 필름 및 코팅 응용 프로그램에 이상적인 자동 PECVD 원자로로, 정확한 제어와 뛰어난 성능을 보장합니다.