판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9185353

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9185353
웨이퍼 크기: 5"
PECVD System, 5".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 최첨단 반도체 제작 프로세스를 수행하도록 특별히 설계된 고급 원자로입니다. 이 장비에는 프로세스 제어, 자동화, 로봇 공학 (Robotics) 에 최신 기술이 장착되어 있어 운영을 지원합니다. AMAT/APPLIED AMAT P-5000은 유연한 시스템 아키텍처를 통해 여러 프로세스 레시피와 기판을 단일 장치에 사용할 수 있습니다. 또한 최적화된 프로세스 수익률 및 균일성을 위해 고성능 가스 분배 및 제어 머신 (Control Machine) 을 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 성능을 극대화하기 위해 수많은 기능이 장착되어 있습니다. 그 방은 균일 한 에칭, 낮은 오염, 좋은 가스 분포를 보장하는 이온 트렌치 (ion trench) 를 갖춘 원통형 디자인을 가지고 있습니다. AMAT P5000은 또한 특별히 설계된 고 소스 전원 플라즈마 소스를 통해 빠른 증착, 삭제, 계층 환율을 구현합니다. 또한, P5000은 안정적이고 안정적인 기판 정렬을 제공하는 고정밀 웨이퍼 척 (high-precision wafer chuck) 및 기판 클램핑 도구를 자랑하여 광범위한 어플리케이션에 적합합니다. 최대 프로세스 제어를 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000에는 대형 기판 온도 컨트롤러 및 프로세스 모니터링 자산이 장착되어 있습니다. 또한, 여러 온보드 자동 컨트롤러를 프로그래밍하여 사용자 개입 없이 챔버 (chamber) 및 프로세스 조건을 모니터링할 수 있습니다. 임베디드 안전 모니터링 (Embedded Safety Monitoring) 모델은 반응로가 항상 안전하고 안정적으로 작동하도록 트리거될 때 서브시스템과 경보를 모니터링합니다. P-5000은 또한 정확하고 반복 가능한 프로세스를 위해 정교한 기능을 가지고 있습니다. 가스선 설계는 최적화되고 일관된 가스 흐름 전달 및 믹스를 가능하게하며, 고품질 계층을 제공합니다. 또한 APPLIED MATERIALS P-5000에는 모든 서브시스템에서 센서 및 액추에이터 데이터를 검색하고, 효율성이 극대화된 가스 라인을 설정하기 위한 전용 컨트롤러가 있습니다. 이 컨트롤러에는 프로세스 제어를 강화하기 위한 고급 웨이퍼 프로파일링 장비도 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 정밀 반도체 제조에 이상적인 선택입니다. 첨단 기능을 통해 최첨단 반도체 장치의 품질 (Quality) 과 생산량을 향상시킬 수 있습니다. 유연한 시스템 아키텍처와 신뢰할 수 있는 프로세스 제어 시스템 (process control systems) 은 안정적인 작동을 보장하므로 구성 시 안정적으로 선택할 수 있습니다.
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