판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9184961

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9184961
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
Dry etchers, 8" 1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 고급 재료의 산업 규모 침착 및 어닐링을 가능하게하도록 설계된 재료 침착 및 어닐링 장비입니다. AMAT P-5000 원자로는 금속, 합금 및 비금속을 포함한 다양한 물질을 퇴적시키고 연금하는 데 사용되는 진공 챔버 유형, 열 분리, 고온, 초고온, 초고층 진공 특수 공정 시스템입니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로의 설계는 최대 4 개의 재료 레이어를 동시에 처리 할 수 있으며, 보다 효율적인 재료 증착 및 어닐링을 위해 자동화되고 반복 가능한 결과를 제공합니다. P5000 원자로의 챔버 (chamber) 는 가열 기판과 진공실 내부에서 열 누출을 최소화하도록 설계되었으며, 10 ^ -1 ~ 10 ^ -6 torr 범위의 진공 압력을 유지하기 위해 고효율 확산 펌프를 갖추고 있습니다. 이 약실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어져 있으며, 여러 가지 기판 과 표본 을 보유 하기 위한" 뷰' 포트, 진공 "포트 '및 다양 한 표본 보유 장치 및" 서셉터' 판 이 갖추어져 있다. 확산 펌프 외에도, 챔버에는 터보-분자 펌프 (turbo-molecular pump), 다양한 가스를 공급하고 폐쇄 루프 압력 컨트롤러로 제어하는 가스 저장 탱크 (gas storage tank) 도 포함됩니다. P 5000 원자로는 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD), 도금 및 CVD/PVD/도금 하이브리드 기술을 포함한 다양한 증착 기술을 통해 규산, 산화물, 질화물 및 기타 매우 정교한 재료 및 합금을 생산하는 데 이상적입니다. 어닐링 프로세스는 AMAT P5000에서 현장에서 수행 할 수도 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 또한 여러 단계와 기판을 사용하여 무기 유전체 재료, 투명 도체와 같은 다층 및 쌓인 재료를 제작할 수 있습니다. P-5000 은 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하며, 동시에 다른 재료와 레이어를 처리할 수 있으며, 각 레이어에 대해 최대 0.5 "미크론 '의 두께를 제공합니다. 요약하자면, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 다양한 재료의 산업 규모 퇴적 및 어닐링을 위해 설계된 전문 진공실 장치입니다. 이 기계는 실리사이드, 산화물, 질화물, 기타 재료 및 합금의 형성을 가능하게하며, 동시에 최대 4 개의 층과 최대 0.5 미크론 두께의 층의 반복 및 자동화 된 결과를 제공합니다. AMAT P 5000 은 효율성, 정확성, 확장성의 탁월한 조합을 제공하며, 이를 통해 첨단 재료를 대규모로 생산할 수 있습니다.
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