판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9181885
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 얇은 필름을 반도체 기판 웨이퍼에 입금하는 데 사용되는 실리콘 기반 증착 장비입니다. 이 시스템은 고급 반도체 제조 공정의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 전례없는 정밀도로 퇴적된 박막의 두께, 커버리지, 균일성을 제어 할 수 있습니다. AMAT P-5000은 업계 최고의 진공 성능 및 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계에는 견고한 정전 식 결합 플라즈마 소스가 장착되어 있어 필름 증착 매개변수를 최적으로 제어 할 수 있습니다. 이 플라즈마 소스는 도구의 고급 폐쇄 루프 제어 (closed-loop control) 와 함께 작동하므로 사용자가 박막 매개변수를 정확하고 정확하게 조절 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS P 5000에는 사전 설치된 증착 레시피가 포함되어 있으며, 자산 작업을 사용자 정의하고 박막 증착을 최적화할 수있는 수많은 공압 구성 요소가 있습니다. 이러한 구성 요소를 통해 AMAT P5000은 최고 표준까지 일관되게 성능을 유지할 수 있습니다. P5000은 또한 실시간 현장 모니터링 (in-situ monitoring) 을 통해 사용자가 박막 형성과 증착 매개변수의 변화를 처음부터 끝까지 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 부식 방패가 포함되어 있으며, 오염 물질로부터 히터 (heater) 와 가스 라인 (gas line) 을 보호함으로써 장비의 수명을 연장하는 데 도움이됩니다. P-5000은 섭씨 1050 도의 최대 온도에서 작동하며 최대 8 인치 크기의 기판을 수용 할 수 있습니다. 표준 챔버 (Chamber) 설계는 특허받은 레티클 (Reticle) 패턴을 통해 처리율을 가속화하고 주기 시간을 줄여 추가 장비가 필요하지 않습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 정확도가 높은 박막을 만드는 데 사용되는 견고하고, 안정적이며, 정확한 증착 시스템 솔루션입니다. 이 장치는 강력한 기능, 효율적인 설계, 혁신적인 기능으로, 모든 고급 반도체 제조 공정에 이상적인 선택이 됩니다.
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