판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9181556
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ID: 9181556
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
TEOS CVD Systems, 8"
(3) Deposition Precision Liquid Injection System (PLIS) chamber
Sputter etch chamber
Parts / Modules:
DELATECH 859 Scrubber
Main power box with (4) ENI RF generators
DELTA RF Generator rack with (3) RFPP generators
APPLIED MATERIALS '0' Heat exchanger
Front and rear monitor
(3) EBARA Pumps: 50x20
(2) EBARA Pumps: 40x20
Mini controller
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 소프트웨어 및 하드웨어 제조업체 AMAT, Inc.에서 설계 및 출시 한 원자로 유형입니다. AMAT P-5000은 칩 제조업체가 고품질 사진 분석 프로세스를 수행하는 데 사용하는 도구입니다. 마스크 노출 및 증착 프로세스를 사용하여 기판 표면에 정확한 패턴을 생성합니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 고성능, 완전 자동화 머신으로, 500 와트 방전 램프로 구동되며 레시피 제어 웨이퍼 전송 시스템을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000의 지능형 설계를 통해 사용자는 리소그래피 및 에칭을 포함한 10 가지 포토 esist 프로세스를 쉽게 전환 할 수 있습니다. AMAT P5000은 직경이 50 나노 미터까지 작은 패턴을 생성 할 수 있습니다. 또한 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 노출을 모두 제공하며 사용자가 리소그래피 (lithography) 노출 경로를 선택할 수 있는 기능도 제공합니다. P 5000 은 효율적이고 안정적인 성능, 직관적인 사용자 인터페이스로 잘 알려져 있습니다. 주요 구성 요소로는 로봇 암, 노출 플랫폼, 제어 모듈 및 쿼츠 노출 선박이 있습니다. "로봇 '암 은 노출 된 방 에 기판 과" 마스크' 를 정확 하게 배치 한다. 노출 플랫폼은 마스크와 함께 사용할 때 정확한 패턴화를 위해 다양한 조리개 크기를 제공합니다. 제어 모듈을 사용하면 정확한 노출 제어, 초점 조정 및 웨이퍼 전송 속도를 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 석영 노출 선박은 작동 중 화학 및 열 효과에 영향을 미치지 않도록 설계되었습니다. AMAT P 5000 (AMAT P 5000) 은 도구에 정확하고 안정적인 노출을 필요로 하는 칩 제조업체에 적합한 선택입니다. 기능과 유연성을 통해 사용자는 다양한 사진 (photolithography) 작업을 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다. 견고한 설계로 인해 최대 300mm 웨이퍼 (wafer) 에 대한 신뢰할 수있는 솔루션으로, 정확하고 반복 가능한 패턴화 프로세스가 필요한 칩 제조업체에 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 마지막으로, 사용자 친화적 인터페이스와 기존 소프트웨어/하드웨어 시스템과의 호환성을 통해 운영 환경에 손쉽게 통합할 수 있습니다.
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