판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9180686
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판매
ID: 9180686
PECVD System
Spare parts:
Qty P/N Description
Cabinet 1: Shelf 1
(2) 0020-10752 Pumping plate 4,5,6" silane/nitride
(0) - 5 Hole pumping ring
(5) 0020-09316 Plate, blocker 150 MM teos
(1) - Plate, blocker 150 MM Silane
(11) 0020-10771 Perf blate, 150 MM Oxide
(4) 0020-10119 Showerhead CVD nitride rounded shoulder
(1) 0020-10119 Showerhead CVD nitride beveled shoulder
(3) 0020-10941 Isolater, Teflon ring (Nitride)
(2) 0020-10941 Isolater, Teflon ring (TEOS)
Shelf 2:
(3) 0020-10059 Ring, wafer lift
(10) 3700-02455 I/O Door oring
(0) 0150-09389 Cable assy,heater liquid source
(1) 3700-01033 Manifold output plate
(3) AS-568A K121 Teos iso valve oring
(6) AS-568A K030 Teos iso valve oring
(1) FS-V11 Motion sensor
(2) FS-V12 Motion sensor
(1) FS-V31C Motion sensor
(1) FU-95 Motion sensor
(1) - Delrin, focus ring
(1) 0020-09885 Isolater, delrin ring
(9) 0015-09232 Adjustment screw
(1) - Ceramic, focus ring
(3) 0010-60011 Susceptor assy(teos)
(5) 0200-09021 Shield, 150mm
(0) 0200-10193 Nitride shield
(1) 0020-09604 Single cfg(gas block)
Shelf 3:
(5) 0200-09158 Heater window
(5) 0150-09097 Cable assembly for heater lamp
(17) 3690-03638 Set screw for lamp modules
(9) 3790-01219 Insulators for lamp modules
(277) 1001820 Ushio 1000w lamp
Shelf 4:
(3) 0010-09341 Wafer lift
(1) 0010- 30029 (Primex) p chuck lift rebuild
(1) 0010-09341 Wafer lift
(4) 0010-09340 Susceptor lift
(1) 0010-09340 Susceptor lift
(1) 0010-09750 Rf match
Shelf 5:
(1) 0140-09244 Teos ampule
(1) 0010-09237 Heater module,basic
(4) 3700-01739 Oring
(1) 3700-01120 Oring kit for robot
(2) Type 0536 TC
(4) 167cv75 Oring
(1) D009510059 Oring
(3) 275V75 Ceramic tube o-ring
(3) 884V75 Oring
(1) 265V75 Oring
(9) 233V75 Oring
Misc lift parts
Cabinet 2: Shelf 1:
(2) 0200-09664 Window slit,al203
(3) 0020-09545 Filter, slit-window, cvd
(0) 0030-00195 Large face seal
(0) SS-SVCR4 Metering valve
(9) - Teos board connector female 3 pin
(8) - Teos board connector male 3 pin
(7) 0020-30533 Screw susceptor
(1) 0240-76545 Isolation valve rebuild kit kalrez
(200) - 6-32 x 5/16 skt ni plated
(200) - 4-40 x 5/8 skt ni plated
(4) 3630-01017 E clips
(2) 0190-09454 Endpoint detector
(30) 0015-09329 Screw mach btn hd 6-32 x 3/8 hex skt sst
Shelf 2:
(0) SS-BNV51-C Nupro valve vcr f-f
(1) SS-4TF-VCR-40 Nupro bottom actuator
(2) 0020-10921 Spacer wafer/susceptor lift
(12) - Spacer wafer/susceptor lift
(1) 0200-09035 Solid state hard drive
(200) 3690-01092 Scrcap skt hd 10-32 x 3/8l hex skt sst
(4) 3880-01215 Flat washer for pumping plate assy
(48) 3690-01156 Blocker plate screws
(140) 3690-01083 4/40 screw for robot, doors, actuators
(2) 3880-01368 Wshr lkg split m10 7.9mmw x 2.2mmthk stl
(15) 0020-09843 Sleeve wafer lift pin
(19) 3690-01676 Screw mach shldr for ceramic shield on shower
(29) 0020-10722 Modified screw, perf plate, thin
(34) 0020-10721 Cover,screw,teflon thin perf plate
(0) 0020-10728 Clamp, shield 4,5,6"teos
(1) - Gas box oring kit
(5) 3880-01079 Wshr wave sprg .367od x .265id x .030fh
(2) 0015-76034 Mdfd cplg shaft jspdr 1/4 bore
(17) EV-SM24 Ev valves for hot box w/24" leads
(2) 0020-10482 Box,temp/level sensor
(2) 0190-13175 Light pens
Shelf 3:
(1) - Teos watlow controller
(4) 548201 Lid closed switch
(1) 4020-01061 Point of use filter
(6) 3300-01215 Ftg hose conn 1/16h 10-32m brs barb
(2) MCV-2 Check valve
(2) 0020-09882 Amorphous rf connectors
(1) 0010-09301 Cvd throttle valve
(5) 276V75 Oring
(5) 3700-01334 O-ring for gas box
(5) 3700-01329 Throttle valve assy o-ring
(1) 111V75 Oring
(6) 3700-01332 O-ring for gas box
(4) 3700-01739 Oring id 1.859 csd .139 viton 75duro brn
(1) 0020-09881 Adaptor manifold
(8) 109v75 O-ring
(4) 3780-01090 Spring for wafer lift or susceptor
(0) 0015-09056 Lift bellows
(3) 3080-01030 Timing belt for motor
(2) 0015-09055 Bellows assy susceptorhollow
(2) 0200-35525 Resistor, ceramic, near-net shape
(6) 0200-09025 Tube gas feed, quartz 6mmx6.38
Shelf 4:
(4) - Lift actuator
(5) 0090-09006 Slit valve actuator
(2) 0010-09022 Slit valve assy
(1) FC-7700CD 300 Sccm silane
(1) FC-7800 50 Sccm silane
(1) UFM-1100 1 Slm he
(1) FC7700CD 1 Slm o2
(1) FC7700CD 1 Slm c2f6
(0) FC7700CD 500 Sccm he
(1) - Universal chamber integrated pumping stack
(2) 0010-09174 Assy thrvl valve 200mm, downstr,vi oring
(1) 0010-09146 Assy,sil.thrvlv 100-125-150mm,downstr, v
(1) 0100-09094 Box heater control brd
(2) - Misc drive motors
Shelf 5:
(1) 0010-70395 Robot extension motor
(1) 0010-70394 Assy,rotation motor, 5000 robot
(1) - Monitor base assy.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고성능 플라즈마 기반 에칭 및 증착 장비입니다. 반도체 생산 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 개방형 챔버 도구입니다. 이 시스템에는 3 모듈 챔버 어셈블리와 고속 컴퓨터 제어 전달 장치가 있습니다. AMAT P-5000은 최대 처리 처리량을 제공하면서 다양한 에칭 및 증착 화학 물질을 가능하게합니다. 이 기계의 챔버 (chamber) 는 균일 한 부동 유도 및 일치하는 기판 가열을 통해 매우 높은 처리량과 높은 균일 성을 제공하도록 설계 및 제조되었습니다. 작은 설치 공간으로 인해 에칭 프로세스에 쉽게 통합 된 도구가 됩니다. 고압 챔버는 10mTorr, 표준 펌핑 스테이션은 50mTorr. 응용 재료 P 5000은 AMAT 고성능 AMAT P 5000 프로세스 컨트롤러로 구동됩니다. 사용자 정의 가능한 감독 도구로서, 배치 매개변수 (deposition parameter) 와 레시피 실행 (recipe execution) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 자산은 또한 다양한 증착에 대한 정확한 프로그램 조정을 허용합니다. AMAT P5000 의 자동 로드 잠금 (load-lock) 모델은 여러 기판을 동시에 사용하여 운영 효율성을 향상시킵니다. P5000에는 일체형 로드 잠금 (load-lock) 장비가 있어 수동 재료 교환 없이도 신속하게 재료를 전송할 수 있습니다. 이 시스템에는 고속 로봇 조작 하드웨어 (High-speed robotic manipulation hardware) 가 포함되어 있어 챔버에서 재료를 자동으로 적재 및 언로드할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 다양한 에칭 및 증착 화학 물질을 지원하며, 웨이퍼 내부와 와퍼 사이의 최대 에칭 균일성을 제공합니다. 이 장치는 또한 고급 가스 혼합 (advanced gas mixing) 및 전달 (delivery) 을 특징으로하며 증착 및 에칭 매개변수의 정확한 조절이 가능합니다. 기계의 원자로는 250 kHz ~ 1000 kHz 주파수의 플라즈마를 생성 할 수있다. 완전 자동화 된 P 5000에는 신속한 프로세스 최적화를 위해 현장 모니터링 및 레시피 조정도 포함됩니다. 이를 통해 프로세스 내 필름에 대한 즉각적인 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 분석을 통해 제조업체는 즉시 프로세스를 최적화할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 대용량 반도체 생산을 가능하게하도록 설계된 고급 플라즈마 기반 오픈 챔버 도구입니다. 그것은 작은 발자국과 우수한 증착 균일성과 처리량을 가지고 있습니다. 자동 로드 잠금 (load-lock) 에셋과 고급 모니터링 및 조정 기능을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 최고의 생산 효율성과 성능을 제공합니다.
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