판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9148372

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9148372
Epitaxial (EPI) reactors.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 및 전자 장치 제조에 사용하도록 설계된 고출력 및 고효율 열 원자로입니다. AMAT P-5000은 최상위 로딩 구성으로, 기판 로드, 언로드 및 유지 보수에 대한 액세스를 극대화할 수 있습니다. 원자로는 AMAT CleanOxide 산화 기술을 사용하여 뛰어난 장치 성능을 유지하면서 고효율, 균일성 및 초장기주기 시간을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 이중 단계 산화제 챔버를 사용하여 균질 한 산화물 필름 성장을 촉진하여 고품질 결과를 유지하면서 처리량을 증가시킵니다. 챔버는 또한 유동 조절 장비를 사용하여 비 균일 성을 줄입니다. 이 시스템은 프로그래밍 가능한 분배, 온도 조절, 저류 차단 밸브 (low-flow shutoff valv) 를 포함하는 고급 가스 전달 네트워크에 의해 구동됩니다. 이 분배 제어 장치는 더 빠른 프로세스를 지원하고, 반복성을 향상시켜, 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000에는 프로세스 확장성 및 견고성을 향상시키기 위해 즉석 매개변수 조정 기능, 현장 측정 및 피드백 (feedback) 등 매우 매력적인 기능이 있습니다. 이를 통해 스트레스가 없는 자동화된 운영 및 다운타임 최소화가 가능합니다. 또한 APPLIED MATERIALS P5000은 뛰어난 공기 관리를 위해 통합 멀티 포트 배기 장치 (multi-port exhaust machine) 와 빠르고 쉬운 문제 해결을 위해 고급 진단 패키지를 사용합니다. 이러한 기능의 조합은 효율적이고 신뢰할 수있는 열 처리 장치 (thermal processing device) 를 만들어 내는데, 이는 집적 회로 제조에 이상적입니다. 다른 기능으로는 향상된 주기 반복성을 위한 Enhanced Autozone ™ 모듈, 뛰어난 처리율을 제공하는 wafer handling robotics (옵션) 가 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 모두 반도체 제조에 최적화된 다재다능하고 고성능 반응 오븐입니다.
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