판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9145243

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9145243
웨이퍼 크기: 8"
CVD system, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 탁월한 정밀도 및 제어를 위해 설계된 고출력 병렬 처리 원자로입니다. 이 다용도 장비를 사용하면 저용량 (low-volume) 프로세싱에서 대용량 (large-volume) 애플리케이션에 이르기까지 광범위한 과제를 해결할 수 있습니다. 이 설계는 단일 프로세스 챔버 내에 개별 "프로세스 셀 (process cell)" 배열을 결합하는 혁신적인 독점 아키텍처를 기반으로합니다. AMAT P-5000 의 프로세스 셀은 로봇 (robotic) 및 열 관리 시스템 (thermal management system) 을 사용하여 각 셀에서 다른 프로세스 조건의 적용을 제어하므로 사용자가 쉽게 반복 가능하고 최적의 성능을 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 화학 증기 증착 (CVD), 스퍼터 에칭, 물리적 증발 (PVD) 및 열 증발을 포함한 광범위한 증착 및 제거 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 사전 로드된 레시피의 종합적인 라이브러리와 사용자에게 친숙한 HMI 터치 패널 (HMI Touch Panel) 이 포함되어 있습니다. 운영자는 P-5000 에서 다양한 프로세스 구성을 쉽게 구성하고 다양한 프로세스 가스 (process gase) 나 진공 프로세스 (vacuum process) 를 사용하여 다른 작업의 정확한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000의 다양성은 다른 처리 장비와 비교하여 실제로 두드러집니다. 필요한 특정 프로세스에 따라 다양한 구성으로 최대 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 최적의 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 유지하고 전체 기판 배치에 대해 매우 균일한 프로세스 결과를 제공할 수 있습니다. 또한 AMAT P5000은 안정성과 안전성을 위해 설계되었으며, R&D 및 프로덕션 환경 모두에 적합합니다. AMAT P 5000은 광범위한 어플리케이션을 위한 최고의 프로세스 제어 및 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. IPC (Intelligent Process Control) 는 비활성 프로세스 로밍을 제공하여 필요에 따라 장치를 지속적으로 최적의 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 고급 환경 모니터링 시스템 (Advanced Environment Monitoring Machine) 은 환경의 변동이 프로세스에 미치는 영향을 최소화하도록 합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000의 Remote Diagnostics and Maintenance (RDM) 를 사용하면 작업을 쉽게 파악하고 정확한 예방 유지 관리 데이터를 액세스할 수 있습니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 강력하고 다양한 원자로, 많은 정교한 프로세스를 최적으로 수행하기 위해 필수적인 다양한 고급 기능을 제공합니다. 지능형 프로세스 제어 (Intelligent Process Control) 는 탁월한 성능을 제공하는 반면, 자동화된 환경 모니터링 도구, 원격 진단 및 유지 관리 (Remote Diagnostics and Maintenance) 및 기타 기능은 유연하고 안정적이며 안전한 운영을 제공합니다.
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