판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9134767

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고급 반도체 장치 생산을 위해 설계된 고급 통합 단일 웨이퍼 원자로입니다. 혁신적인 평면 아키텍처를 특징으로하는 AMAT P-5000은 화학 증기 증착 (CVD) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 과 같은 고급 증착 공정을 할 수 있습니다. 이것은 다양한 반도체 응용 분야를 위해 박막 (thin film) 과 나노 구조 (nanosstructure) 를 만드는 데 적합합니다. 이 시스템은 네 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 첫 번째는 공정 챔버 (process chamber) 이며, 여기에는 다수의 가스 라인과 하향식 증기 발전기가 포함됩니다. 내부에서, 증기 발전기는 챔버의 재료를 가열하는 반면, 가스 라인은 기판에 기화 된 재료를 주입합니다. 약실은 N2 퍼지로 밀봉되어 물질적 오염을 방지하고 원치 않는 반응을 줄입니다. APPLIED MATERIALS P 5000의 두 번째 구성 요소는 플라즈마 생성기입니다. 이 구성 요소는 약실의 분자를 흥분시키기 위해 RF (Radio Frequency) 에너지를 사용하여 약실에서 원하는 반응을 만듭니다. 이 프로세스는 결함 및 불순물을 줄이는 데 도움이되며, 이는 장치 성능을 최적화하는 데 중요합니다. APPLIED MATERIALS P5000 의 세 번째 구성 요소는 플랫폼 시스템 (platform system) 으로 증착 과정을 정확하게 제어할 수 있습니다. 여기에는 공정 챔버의 압력, 온도, 가스 흐름을 제어하는 많은 모듈이 포함됩니다. 또한 프로세스 모니터링을 위한 여러 센서가 포함되어 있으므로 실시간 튜닝 (tuning) 을 통해 최적의 성능을 보장합니다. 마지막으로, 네 번째 컴포넌트는 자동화 시스템 (automation system) 으로, 전체 증착 프로세스가 의도 된 레시피에 따라 제어되도록 합니다. 이것은 높은 수준의 반복성을 허용합니다. 즉, 복잡한 장치 구조를 만드는 엔지니어에게는 매우 중요합니다. 요약하면, P 5000은 고급 반도체 장치 생산의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급, 통합 단일 웨이퍼 원자로입니다. 평면 아키텍처와 종합적인 구성 요소를 갖춘 AMAT P5000 은 박막 (Thin Film) 과 나노 구조 (Nanosstructure) 를 매우 정확하고 반복적으로 만들 수 있습니다.