판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9133091
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ID: 9133091
Metal etch, 8"
System Features:
1. Top-Mounted electronics: NO
2. Meets CE Mark Requirements: NO
3. System monitors: YES
4. Robot Handler Rev: Phase III(Overhaul Complete)
5. Cassette Handler Rev: Phase III
6. Factor Automation: NO
7. Storage Elevator Position Sensor: NO
8. Storage Elevator Wafer Orienter: NO
9. Elevator Brakes: YES
10. Storage Elevator Slots: 8
11. Load Lock Purge: NO
12. Load Lock Chamber Bolt Down Lid: YES
13. Load Lock Lid Lift: NO
14. Wafer Position Sensor: YES
15. I/O Wafer Sensor: YES
16. Slow Pump Hardware Installed: NO
17. Foreline Fittings for TC and N2 Purge: VCR Type
18. Load Lock Pump Type: NO Pump
19. Load Lock Pump Brand: N/A
Mainframe
1. Load Lock Degasser: N/A
2. Wafer Orienter Chamber: N/A
3. Endpoint System: Extrenal Emmision
4. Neslab Water Plumbing on Facilities Panel: YES
5. Heat Exchanger Plumbing on Facilities Panel: YES
6. Endpoint System: NONE
7. Robot Type: Phase III
8. Robot Condition: Good condition
9. Lower Circuit Breaker Panel: Present
10. Buuffer Chamber Condition: Good condition
Electronics:
1. Boss PROM: Unable to check. System not powered up.
2. Single Board Computer Type: Synergy
3. Software Revision: Unable to verify, System not powered up.
4. Minicontroller: Present
5. Light Pens: NONE
6. Chamber Interconnect PCB: Present
7. Mini SBC PCB: Present
8. System Electronics Interface PCB: Present
9. Video PCB: Present
10. Analog Output PCB: Present
11. Analog Input PCB: Present
12. Stepper PCB's: Present
13. Digiral I/O PCB's: Present
14. TC Gauge PCB: Present
15. Chopper Drivers: One card none
16. DC Power Cards: +12v card none
17. Buffer I/O PCB: Present
18. AI / MUX PCB: Present
19. Magnet Drivers: 2 Drivers present for Etch Chambers
Chamber Information:
1. Chamber A: Metal Etch MxP+
2. Chamber B: Metal Etch MxP+
3. Chamber C: ASP(strip)
4. Wafer Size: 200mm
5. Foreline Hardware: All Present
6. Capacitance manometers: Present
7. Wafer Lift Hardware: Present, needs servicing and clean-up.
8. Roughing Valves: Present, will need PM serviced and cleaned.
9. Throttle Valve Assemblies: All chambers present. Will need PM Seriviced.
10. RF Matches: Type 4 Matches. Etch Chambers present.
Gas Box Information:
1. MFC Type: No MFC's in Gas Box at time of audit.
2. BCL3 MFC's:
3. CL2 MFC's:
4. CF4 MFC's:
5. N2 MFC's:
Remote Information:
1. Heat Exchanger: AMAT 1X 1
2. Chiller: HX-150
3. RF Generators:OEM-12A & AX-2115
4. Remote Frame: Stand Alone-Delta
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고성능 에칭 공정을 위해 설계된 180mm 건식 에치 원자로입니다. 이 장비는 매우 정밀한 에치 깊이 (etch depth), 높은 균일성 (unifority) 및 다양한 재료에 대한 탁월한 에치 선택성을 제공 할 수 있습니다. AMAT P-5000 은 고급 하드웨어와 소프트웨어를 장착하여 평면 구조와 3D 구조의 우수한 결과를 보장합니다. 하드웨어에는 식각 균일성과 효율성을 극대화하는 RF Generator와 RF Matching Unit이 포함됩니다. 이 시스템에는 반응성 가스 전달 장치, 결정 론적 동작 제어 및 폐쇄 루프 RF 전달 머신도 포함됩니다. 또한 APPLIED MATERIALS P 5000에는 Etch 레시피를 쉽게 제어하고 사용자 정의하는 제어 GUI (Graphical User Interface) 인 EtchVision과 같은 고급 제어 소프트웨어가 있습니다. 또한, P-5000은 플라즈마 챔버에서 RF 반사를 최소화하기 위해 유전체 기반 에치 챔버 (etch chamber) 를 구축하여 민감한 영역에서 RF 인공물의 가능성을 줄입니다. 응용 재료 P5000은 몰리브덴, 텅스텐, 루테늄과 같은 가장 어려운 물질을 에치하도록 설계되었습니다. 또한 오버 에치 (over-etch) 없이 여러 층의 유전체를 에칭 할 수 있습니다. AMAT P5000은 또한 최소 난방, 냉각 및 제어되지 않은 이온 영향을 가진 뛰어난 산화물 에치 특성을 제공합니다. 이 공구는 심해 (deep etch) 에 사용할 수 있으며 기판 클리닝 및 서피스 클리닝 단계 모두에 잘 작동합니다. AMAT P 5000 (AMAT P 5000) 은 다양한 재료에 대해 균일하고, 정확하며, 고성능 결과를 제공할 수 있는 강력한 에칭 도구입니다. 고급 하드웨어 (Advanced Hardware) 와 소프트웨어 (Software) 의 조합을 통해 사용자는 최소한의 노력으로 원하는 프로세스 목표에 도달 할 수 있습니다. 이 자산은 소전기, 반도체, 광전자 산업의 응용에 적합하여 민감하고 도전적인 구조를 에칭합니다.
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