판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9097963

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고급 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 원자로입니다. 제조업체가 프로세스를 최적화하고 수익률을 높일 수 있도록 설계된 프로덕션 지원 (Production Ready) 도구입니다. AMAT P-5000 원자로는 산화물, 질화물 및 폴리 실리콘 층을 생성 할 수있는 저압, 대면적, 확장 가능한 증착 장비입니다. IC (Advanced Integrated Circuit) 장치의 증착과 대용량 디스플레이 및 PV (Photovoltaic) 장치의 생산에 특히 유용합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 시스템은 증착 프로세스에 대한 고정밀 제어를 가능하게하여 초박형 게이트 산화물, 게이트 스택, 확산 계층 (diffusion layer) 을 생산할 수있는 유연한 플랫폼입니다. 저압 환경은 산화 (oxidation) 와 오염 (contamination) 을 감소시켜 더 나은 전기 특성을 가진 더 얇고 균일 한 층을 생성합니다. 질소 또는 헬륨의 비활성 가스 환경을 사용함으로써, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 최소 소스와 showerhead 침식으로 높은 처리량과 반복 성을 허용합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 장치는 웨이퍼 표면에서 균일하고 높은 온도의 균일성을 보장하고 뛰어난 현장 도량형을 제공하는 고급 기판 난방기를 갖추고 있습니다. 이를 통해 정확한 실시간 프로세스 제어가 가능하며, 도전적인 기질 화학으로 인한 공구 다운타임을 줄일 수 있습니다. AMAT P 5000 원자로는 또한 다양한 종의 스펙트럼 배출을 측정하고 다른 공정에 대한 증착 조건을 최적화하기 위해 최첨단 석영 모니터링을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P-5000 도구는 원격 플라즈마, 사후 에치 플라즈마, 고급 에치 및 증착 프로세스를 포함한 여러 하위 챔버 프로세스로 구성 할 수 있습니다. 하위 챔버에는 고급 마그네트론 스퍼터링, PVD 및 습식 증착 공정이 제공됩니다. 로봇 암 (robot-arm) 엔드 이펙터를 사용하는 통합 자동 웨이퍼 처리 에셋은 빠르고 안정적인 웨이퍼 로딩 및 언로딩을 제공합니다. AMAT P5000 모델에는 뛰어난 사용 편의성을 제공하는 정교한 컴퓨터 제어 프로세스 모듈이 장착되어 있습니다. P5000s 모듈식 아키텍처는 빠르고 간편한 업그레이드를 보장하여 TCO (총 소유 비용) 를 절감합니다. 또한 P-5000 은 빠른 주기 속도, 낮은 배출 속도, 자동 유지 관리 프로토콜, 기존 제조 네트워크와의 손쉬운 통합을 제공합니다. P 5000 장비는 신뢰성이 높고 효율성이 높아, 프로세스를 최적화하고 처리량을 늘리려는 제조업체에 이상적인 선택입니다.