판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9096710
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ID: 9096710
Lot of spare parts:
blade 0010 09027 2
adapter top 0020 30190 1
gas dristribution plate metal nc 1
RF matching unit (defect) 0010 30868 W 1
Uni insert gasdristribution 0020 10246 C 1
Insulator quartz 200 mm 0200 10073 1
Calibration / match maual controller box 1
Process kits nc 2
Metal ets chamber pedestal 0200 09216 1
Ring focus ECS 150 mm 0200 10265 A 1
Ring clamb vespel poly 150 mm 0020 30678-200 1
Pedestal 0020 03435 2
Pedestal gas distribution 0020 30815 2
Shell Assy 150 mm 0040 99952 3
PM-kit box 1
focus ring 0200 09744 1
ESC assy 150 mm 0041 34851 1
Shadowring quartz 0200 76068 1
Clamb ring 0020 30678 1
PCB cards box 1
Chamber gas distribution plates box 1
Spares box 1
bellows 0040-00103 2
valve pneumatic NW40 flange 3870-01244 2
bellow hollow 0015-09055 1
valve relieve nsw 18975 TA 3870-01129 1
valve nupro SC-01 6LVV-DPFR4-P-C 3
blade vacuum sense switch 0190-07003 1
stekker generator 0720-01502 1
wiring blade sensor 0140-00038 1
conn. Housing plug 6 position 0720-01805 2
valve relief 150 psi 3870-01062 2
relay solid state 240V/25A 1200-01034 1
relay solid state 240V/10A 1200-01016 1
spcr ff 1-032 thd 3/4" 3790-01203 1
cylinder assy, air 1 5/8 bore 0190-00173 1
CB mag 1 phase 120/240 VDC 15A 0680-01105 1
CNTR DI tank 1/2 mpt adpter 3250-01008 1
vave clippard W/conn 0190-09006 8
fuse dual time 8 A 32 V 0910-01075 4
fuse dual time delay 3 A 125 V 0910-01078 4
valve bellows 1/4 " VCO 2 way 3870-01262 1
filter inline gas STN 4020-01061 1
fil. Inl. Gas 1/4" VCR X 9/16 18 stt 4020-01060 0
valve shaft I/O 0020-09130 1
slite valve assembly 0010-09022 1
elbow gasinlet poly 0020-30356 1
valve door I/O 0020-09131 1
transistor tip 102 0140TIP102 3
switch atm vcr 0190-09365 1
filter UV endpoint 0020-32365 1
motor break assy cassette 0090-09010 1
vac flange softpump MXP+ 0040-32008 1
valve softpomp bypass 0010-10955 1
flange rough. Line bypass 0050-31240 2
valve nor-cal 3870-01455 1
strip, brkt oxide cathode 0020-09039 2
center finder board 0100-09060 2
buffer I/O board 0100-09009 1
card vme backplane 12 slot 0660-01041 1
PCB esc + eproms 0010-09937 1
PCB assembly mini AI/AO 0100-09022 1
VME CPU synergy up 0090-76110 1
0100-77014 1
Power supp. +5 / +15 / -15 /+24Volt 1
applied disk drive 20MB 3-1/2 0660-01054 1
fuse melf 1/2 A 0910-01255 18
fuse melf 1 A 0910-01256 15
fuse melf 2 A 0910-01253 20
fuse melf 3 A 0910-01277 13
fuse melf 5A 0910-01254 16
fuse melf 7A 0910-01287 16
board digital I/O 0110-11002 2
PCB RS232 communicatie 0100-09169 1
cable assy monochromator 0150-00259 1
board ctr match phase IV 0100-09156 1
endpoint interface 0100-00073 1
PCB assy helium flow 0100-09030 1
PCB dio fuse board 0100-09117 1
cable asembly 6 cond flex fl 0190-09066 1
Cables
harness assy current 0140-09220 1
assy cable RF 0150-09050 1
cable assy power harddisk 0140-00038 1
cable fiber optic 20 foot 0040-00456 4
cable PWR esc CTR 0140-00144 1
cable assy neslab 0150-76171 1
cable DI/DO 0150-10188 1
cable HD & FD scsi 0150-09889 1
cable assy isolat. 0150-09486 1
cable he-controller 0150-00254 2
cable fiber 6 foot 0040-00457 2
wiring assy receiver 0140-00046 2
DIVERSEN
Th. Couple susp. Assy TC probe 0190-09062 1
cilinder celvis cassette 0020-09251 1
window quartz 0200-09005 1
screw covers dpp HeWeb 0020-30357 11
screw mach skt HD 4 3690-01477 8
screw match skthd8-32 gdpheweb 3690-01458 20
bearing RLR 0.5 ID 0.688 OD 3060-01155 1
spcr shaft .370D 3790-01208 15
nut, finger BW 0020-30031 8
switch 75 torr VCR-4 0190-09133 1
screw 0020-42067 6
valve SS-BNV51-0 sc11 1
screw pan head 0020-30185 14
feedthru helium 2pass 0020-32141 0
flowmeter (water) 0-50 gph RMA-45-SSV 1
020-300000-A-LEO 4
020-300000-rev A 4
washer wave (t.b.v. robot arm) 3880-01079 13
pin adj. Clamp 0020-30033 8
screw 3690-02736 24
fliter slit window 0020-09545 3
screw match skthd8-32 gdpheweb 3690-01458 10
belt TMG pully 3 mm pitch 3610-01033 1
stdf 1/4 hexx 1/2 Al 3790-01267 2
connector strain relief cover 0720-01755 5
nut hex 8-32 X 1/4 3690-01661 4
pin adj. Clamp 0020-30033 8
washer bellivile spring 0015-09179 8
flat washer 3880-01004 12
screw SLTD pan HD#6-32X1/2 0020-10890 3
PALL filter GLFPF3000MFC9 4HS-K3305-1 1
scr BTN HD4-40 1/2 L clamp oxid 3690-01686 12
screw imbus 3690-01218 2
O-rings
oring 557.58 X 5.33 391 viton 16
oring 380.59 X 3.53 kalrez 281 kalrez 1
oring 221,84 X 3,53 269 viton 2
oring 215,50 X 3,53 268 viton 10
oring 177,40 X 3,53 262 viton 2
oring 152.70 X 2.62 163 nitile 20
oring 145.72 x 2.62 Vi (slitvalve) 10023407 5
oring 139.30 X 3.53 kalrez(slitvalve) 254 kalrez 5
oring 88,49 X 3,53 238 viton 4
oring 62.87 x 5.33 Vi 10023374 4
oring 53.70 X 1.78 135534 034 viton 50
oring 53.34 x 5.33 Vi 10023371 4
oring 50.17 X 5.33 329 viton 1
oring 44,04 X 3,35 3700-01040 1
oring 34,52 X 3,53 chemraz 0700-01536 1
oring 33 X 2,62 125 viton 4
oring 26,65 X 2,62 3700-01090 5
oring 12,29 X 3,53 206 viton 4
oring 11.8 x 2 esc heweb 3700-01542 1
oring 10.77 x 2.62 FPM 136492 15
oring 9.19 x 2.62 chemrez 1
oring 9.12 X 3.53 51414 204 viton 12
oring 8.92 x 1.83 kalrez 10022758 6
oring 7,60 X 2,62 109 viton 26
oring 7.59 X 2.62 chemraz 90 3700-01657 1
oring 5.94 x 3.53 kalrez 3700-01614 4
oring ID 8.237 C5D-103 gdp HeWeb 3700-01127 4
oring ID 7.734 csd.139 viton 75 3700-01056 2
oring ID 5.484 CSD 139 3700-01220 2
oring ID 3.737 csd.103 viton 75 3700-01605 1
oring ID 2.359 csd.139 viton 75 3700-01226 1
oring ID 1.174 csd.103 viton 75 3700-01174 1
oring 114 ID 0.070 viton 3700-01034 6
oring ID. 799 CSD viton 3700-01083 5
oring ID.674 csd.103 viton 75 3700-01095 4
oring ID.549 csd.103 viton 75 3700-01852 1
oring he-feethrough 3700-01262 1
oring quad ID.299 cs.103fkm viton 70 3700-01740 1
belt timing robot extension 3080-01030 5
belt timing RF match 3080-01035 6
belt timing RF match 3080-01006 14
belt timing trottle valve 4
bearing ball flg 1/4 ID 1/20 OD 1/8W SST 4 3060-01177 2
Spare parts chamber
resistor ceramic mod 0015-09042 2
6" flat shot shoe 0020-42198A 1
screw vespel 0020-09963 4
DC plugs grafit 0200-09366 6
lipseal small face 0020-09373 4
lipseal large face 0030-00195 1
Gasket, cu finger strip 3320-01018 2
CCP 1000W lamp clear fel 120V 10044068 1
poly-line green 3860-01058 20
poly-line blue 3860-01056 20
lift pin long 0020-34041 10
lift pin short 0020-34040 8
lift pin short adjustable 0021-09105 8
liftpin heweb conductive 0020-31633 2
liftpin heweb conductive long 0020-32164 2
Nut HEX jam 8-32 3500-01045 1
PCB assy opto switch 0100-09042 3
PCB limit detector 0100-00061 3
Sheet interface soft AL1100, .003 THK 0020-34316 1
Sheet interface soft AL1100, 0.0003 THK 0021-09059 1
Spare
Poly gas distr.plate 37 holes 0020-030815 2
insert SI-ring MXP+ 0200-35623 1
Pedestal 6" ext. WFA 0020-03435 2
Spare
shell assy 150 mm (ESC MXP+) 0040-99952 0
Spare POLY
quartz pedestal ring 6" 0200-09216 2
clampring poly 6" 0020-30678 2
focusring poly 0200-09744 1
Spare
pneumatic control bd 0100-09008 1
HOT EPD recessed double window DL50-A-389 3
houder dubbele epd window DL41-A-530 2
window flange 0020-09064 1
w Magnet drive assy 0190-70060 1
Grid small hole 992-70437 1
Adapter pumping plate center 0200-09135 1
liner, cathode aligned oxide 0021-09104 1
throttle MXP+ non heated 0010-10185 1
clamp cylinder 0020-30571 1
liner slit valve 0020-34696 1
external cover 0020-09368 2
quartz cover oxide 0020-09346 0
High efficiency RF matching 1
Losse onderdelen
top cover assy. Pos. A & D 0010-00512 1
gas distr MXP+ 88 hold, quartz 0200-10246 2
insulator quartz simple cathod 0200-10073 1
6" robot arm 0010-09027 2
quartz focusring MXP+ 0200-76068 0
wiring distr. Board 0100-09026 2
ring pedestal heweb esc 0200-09830 1
focus ring heweb esc 0200-10265 1
plate gasdistribution heweb 0020-30570 1
heating element 0190-09163 1.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 원자 층 증착 (ALD) 프로세스를 위해 설계된 고 처리량, 공정 제어 증착실입니다. 이 원자로는 고급 어플리케이션을 위한 고성능, 저가형, 고밀도 장치 계층을 생산하는 데 유용한 도구입니다. 공정 챔버 부피는 5.375 리터이며, 증착 공정의 성능을 향상시키기 위해 최대 4 개의 전구체와 2 개의 가스 라인을 장착 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 레이어의 두께가 정확하고 균일성 (unifority) 이 뛰어난 다양한 재질의 고품질 레이어를 배치할 수 있습니다. AMAT P-5000 은 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설정할 수 있는 모듈식 장비입니다. 처리 압력 범위는 0.3mbar ~ 3mbar이며 조정 가능한 온도 범위는 -50 ° C ~ 180 ° C입니다. 이 시스템에는 또한 HLPC (High-Level Process Control) 기능이 있으며, 이 기능은 제한된 수의 단계에서 핵심 프로세스를 구현합니다. HLPC 를 사용하면 여러 프로세스를 동시에 실행할 수 있으므로 운영 속도가 향상됩니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 ALD Plenum Process Control 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 사용자 친화적인 소프트웨어는 사용자가 실시간 진단 기능을 제공하여 ALD 프로세스의 매개변수를 조정하고 최적화할 수 있도록 도와줍니다. 또한 고급 산화물 제어 (Advanced Oxide Control) 를 통해 증착 균일성을 향상시키고, 단단한 산화물 계층 사양을 충족하며, 처리 단계 수를 줄여 비용을 절감할 수 있습니다. P 5000 원자로는 다양한 안전 (Safety) 기능으로 설계되어 안전한 운영 환경을 보장합니다. 환경과 모든 인력을 안전하게 유지하는 내장 화재/폭발 진압 장치가 있습니다. 또한 이 기계에는 여러 계층 터치 창 (multilayer touch pane) 이 있어 가열된 서피스와 안전한 환경을 동시에 제공합니다. APPLIED MATERIALS P5000은 신뢰할 수 있고, 비용 효율적인 원자로로, 사용자가 다양한 재료의 정확한 증착을 달성 할 수 있습니다. 이 도구는 SMB (Small Scale Volume Deposition) 와 운영 볼륨 증설 (Production-Volume Deposition) 모두에 적합하며 고급 어플리케이션을 효율적이고 경제적으로 위한 뛰어난 고밀도 재료를 생산할 수 있는 탁월한 도구입니다.
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