판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9096152

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 플라즈마 증착 응용을 위해 설계된 전용 원자로입니다. 이 원자로는 최대 700 ° C의 온도에서 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 이 제품은 플라즈마 증착 (plasma deposition) 기술의 최신 향상을 활용하여 최고 품질의 박막 응용 프로그램을 제공합니다. AMAT P-5000은 유전체, 반도체 및 금속에 이르기까지 광범위한 재료에 적합하도록 설계되었습니다. 원자로 챔버는 진공 밀봉되어 있으며 2 개의 독립적으로 제어 된 가변 진공 포트로 구성됩니다. 이를 통해 재료는 10-7 Torr만큼 낮은 초고 진공에서 처리 할 수 있습니다. 또한, 포트는 사용자가 증착 시 프로세스 매개 변수를 보다 효과적으로 제어할 수 있도록 합니다. 방은 또한 큰 플라즈마 소스 (plasma source) 를 특징으로하며, 광범위한 플라즈마 밀도를 가능하게하며, 광범위한 증착 요구가 가능합니다. 전원 공급 장치/컨트롤러는 플라즈마 모니터링 시스템을 내장하고 있으며, 단일 펄스 (single-pulse), 버스트 펄스 (burst pulse), 전원 부스팅 (power-boosting) 모드 등 다양한 전원 프로파일을 제공할 수 있습니다. 또한 "플라즈마 '증착 의" 에너지' 요구량 을 조절 하는 "시스템 '이 있어서 증착 과정 을 잘 조절 할 수 있다. 또한, in-situ optical emitter 및 detector 시스템을 사용하여 프로세스를 자세히 관찰 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 플라즈마 증착을위한 고급 고효율 도구입니다. 이 기능의 조합은 증착 (deposition) 프로세스를 잘 제어하여 사용자가 공정 매개변수 (process parameter) 가 단단한 품질 필름을 생성할 수 있도록 합니다. 높은 수준의 유연성 (HA) 을 통해 광범위한 애플리케이션에 적합하며, 견고한 구성으로 인해 유지 보수 요구 사항이 최소화된 가혹한 산업 환경에서 사용할 수 있습니다 (영문).