판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9092874

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 공정 개발, 공동 개발 및 고급 재료 생산을 위해 설계된 고온 원자로입니다. 이 시스템은 완전히 자동화되고 매우 효율적인 CVD (chemical vapor deposition) 및 CMP (chemical mechanical polishing) 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 원자로는 CVD 및 CMP의 최신 기술을 활용하여 최고 수준의 프로세스 제어 및 수율을 제공합니다. AMAT P-5000은 수직 원자로 챔버로 설계되었으며, 기판 적재 및 하역을위한 3 개의 해당 슬라이스가 있습니다. 응용 재료 P 5000 (APPLIED MATERIALS P 5000) 의 수직 설계를 통해 동일한 플라즈마 챔버 내에서 광범위한 기판 재료를 지원하고 처리 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 (APPLIED MATERIALS P5000) 의 프로세스 프로그램은 완전히 자동화되어 정교한 레시피와 함께 작동하도록 설계되어, 최적화되고 재현 가능한 증착 및 연마 공정이 가능합니다. 특수 설계 된 멀티 가스 전달 시스템 (multi-gas delivery system) 을 통해 CVD 프로세스 동안 가스의 전달을 정확하게 제어하여 프로세스의 제어와 품질을 높일 수 있습니다. 재료 요구 사항에 따라, P-5000은 최대 3 개의 반응 가스와 1 개의 퍼지 가스로 동시에 적용 될 수있다. P5000은 최대 500 ° C의 온도에서 CMP 프로세스를 수행 할 수 있으며, 전체 기판 표면에 균일 한 기판 온도가 있습니다. 독자적인 수류 (water flow) 시스템은 안정적이고 효율적인 CMP 프로세스를 달성하는 반면, 독립적 인 거주 시간 관리는 최적화되고 균일한 처리 프로세스를 보장합니다. AMAT P 5000은 SCPI (Standard Communication Protocol) 와 같은 통신 인터페이스로 작동하는 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 또한 CVD 및 CMP 프로세스에 대한 원격 진단 및 온라인 모니터링을 지원하므로 실시간 프로세스 모니터링 및 조정이 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 높은 생산성과 생산성을 위해 설계되었으며, 고급 재료를 자동으로 생산하는 데 적합합니다. 정확한 프로세스 제어, 고급 자동화 기능, 고온 CMP 프로세스와 같은 기능을 갖춘 AMAT P5000은 고품질 고급 재료를 생산할 수 있는 강력한 솔루션을 제공합니다.