판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083285

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체, 나노 전자 및 MEMS 산업의 고급 연구 및 최첨단 제작 프로세스를 위해 설계된 최첨단 원자로입니다. 이 고급 처리 도구 (Advanced Processing Tool) 는 독립형 화학 기계 연마 및 평면 화의 유연성과 고급 에칭 및 증착의 힘을 결합하도록 설계되었습니다. AMAT P-5000은 1 ~ 10 마이크로 미터 범위의 필름 두께로 다양한 기능 크기를 만들 수 있습니다. 이 장비에는 단일 웨이퍼 (Single Wafer) 및 배치 처리 (Batch Processing) 기능이 장착되어 있어 최고의 수준의 프로세스 유연성, 효율성 및 비용 효율성을 제공합니다. 원자로는 최대 300mm 크기와 200mm ~ 150mm 두께의 웨이퍼에서 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 최대 8 바의 처리 압력을 자랑하며, 전력 및 가스 전달을 위해 최대 25MHz의 RF 주파수를 조절할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 정밀한 프로세스 모니터링을위한 정밀 온도 제어, 최적의 가스 처리를위한 플라즈마 소스의 다양한 조합, 개선 된 에칭을위한 자동 고조파 플라즈마 제어, 다중 자원 고급 기판 처리, 최신 첨단 기판 웨이퍼 기술. 또한, 원자로에는 소형 챔버 (compact chamber) 가 장착되어 있어 제한된 공간에서 효율적으로 작동 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000은 기존의 배치 처리 시스템에 비해 많은 이점을 제공합니다. 기계는 온도, 압력, 공정 시간, 가스 조성을 총 제어하는 다양한 재료 특성을 생성 할 수 있습니다. 또한이 도구에는 향상된 에칭을 위해 자동 고조파 펄스 제어가 있습니다. 이 고급 처리 도구 (Advanced Processing Tool) 를 사용하면 최고 수준의 품질과 프로세스 일관성을 유지하면서 정확도가 높은 박막 레이어를 생성할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 내장 안전 메커니즘, 다중 계층 단열재, 강력한 누출 감지 모델 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 전반적으로 P5000 은 업계 최고의 프로세스를 위한 최고의 수준의 프로세스 제어 (process control) 및 유연성을 제공하도록 설계된 첨단 원자로입니다. 이 강력한 원자로는 정밀한 온도 조절, 조정 가능한 RF 주파수, 다양한 안전 기능 등 다양한 기능을 제공합니다. 장비는 강력하고 안정적이며, 최고 수준의 효율성과 비용 효율성을 제공합니다.