판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083281

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9083281
빈티지: 1995
PECVD system Process: SiO4, SiN 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor는 플라즈마 처리 응용 프로그램을 위한 고성능 솔루션입니다. 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 에칭, 증착, 필름 성장 및 기타 고급 운영에 사용됩니다. AMAT P-5000은 1300 와트의 RF 전력을 사용하여 밀폐 된 챔버에서 플라즈마 환경을 조작합니다. 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 사용하여 APPLIED MATERIALS P 5000은 챔버 내부의 온도와 압력을 정확하게 조절하여 보다 일관된 프로세스 결과를 보장 할 수 있습니다. 포함 된 UMDRS (Universal Magnetic Debris Removal System) 는 플라스마에서 바람직하지 않은 미립자를 제거하여 프로세스 효율성을 향상시키는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS P-5000 은 유연하고 모듈식 설계로, 고객의 요구 사항에 맞게 손쉽게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. RF 바이어스 및 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 펌프를 포함한 다양한 옵션을 사용하여 공정 제어를 더 정련 할 수 있습니다. 또한 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 제어 시스템 (control system) 이 무장하여 최종 사용자에게 프로세스에 대한 실시간 정보를 제공합니다. 여기에는 에칭을위한 반응 속도 컨트롤러, 증착을위한 표면 프로파일 분석 시스템, 원자로를위한 고정밀 질량 흐름 컨트롤러 등이 포함됩니다. AMAT P5000의 내장형 IPC (Intelligent Process Controller) 는 사용자가 즉석에서 챔버 내 매개변수를 조정할 수 있도록 도와줍니다. 이 직관적인 컨트롤러를 통해 사용자는 반복 가능한 (repeatable) 프로세스를 신속하게 만들고 실행할 수 있으며, 실시간 (real-time) 프로세스 모니터링은 최고의 수준의 프로세스 균일성과 품질을 보장합니다. 또한 P500은 AMAT 고급 4 기판 프로빙 시스템을 사용하여 기판을 나노 미터 수준의 정확도로 분석 할 수 있습니다. 또한 P500 에는 AMMS (APPLIED MATERIALS Manufacturing Suite) 와 같은 강력한 소프트웨어 툴이 장착되어 있어 엔지니어가 중요한 프로세스 데이터를 저장, 모니터링 및 관리할 수 있습니다. AMMS 는 최종 사용자에게 프로세스 성능을 실시간으로 추적하고 비교할 수 있는 포괄적인 툴셋을 제공합니다. 이 플랫폼의 데이터 기반 분석 (data-driven analytics) 을 통해 엔지니어는 신속하게 매개변수를 조정하여 수율 및 프로세스 효율성을 극대화할 수 있습니다. 간단히 말해, AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 Reactor는 고급 플라즈마 처리 응용 프로그램을 위해 강력하고 정교한 솔루션입니다. 사용자 정의 가능한 모듈식 설계, 고급 프로세스 모니터링 시스템 및 강력한 제조 소프트웨어를 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 사용자가 프로세스 품질과 재생성을 향상시킬 수 있도록 설계되었습니다.
아직 리뷰가 없습니다