판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083280

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9083280
빈티지: 1996
PECVD system Process: SiO3, SiN 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체, 디스플레이, 태양광 및 데이터 저장소를 포함한 다양한 업계의 고급 에칭 및 증착 공정을 위해 설계된 정교한 최첨단 플라즈마 원자로입니다. AMAT P-5000 (AMAT P-5000) 은 첨단 전자 제품의 대량 생산을위한 새로운 가능성을 열었으며, 사용 가능한 가장 신뢰할 수 있고 다용도 플라즈마 원자로 중 하나로 널리 알려져 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000의 유연성은 주요 장점 중 하나입니다. 이 제품은 여러 개의 챔버 (chamber) 크기, 기판 크기, 기능으로 제공되며, 각 애플리케이션에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 표준 클린 룸 (Clean Room) 에 쉽게 설치할 수 있도록 2 단계 디자인으로 비교적 컴팩트하게 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장하는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 챔버에는 최대 1kW의 RF 전원 공급 장치 (Power Supply) 가 장착되어 있으며, 추가 포트 옵션을 통해 최대 여러 개의 추가 전원 공급이 가능합니다. 또한, 이 시스템은 광범위한 레시피와 높은 펄스 에너지를 지원하므로, 어려운 증착 및 에칭 프로젝트에 적합합니다. 효율성을 극대화하기 위해 P 5000에는 정확한 가스 전달 장치도 장착되어 있습니다. 이 기계는 가스 유속 (gas flow rate) 과 사용 된 총 가스 (gas) 에 대한 정확한 제어를 허용합니다. 전반적으로, 이 고급 가스 전달 기술 (Advanced gas delivery technology) 은 높은 수준의 반복성과 성장 및 에치 (etch) 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마지막으로 P-5000에는 첨단 데이터 수집 및 분석 패키지가 포함되어 있습니다. 레시피 관리 도구 (recipe management tool) 와 결합하여 그래프 또는 다이어그램에서 프로세스 진행률 및 성능을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 고급 기능 세트를 통해 AMAT P5000은 심층적인 프로세스 특성화 및 최적화에 이상적입니다. 결론적으로, APPLIED MATERIALS P5000은 강력하고 다목적 인 플라즈마 원자로로, 다양한 산업에서 에칭 및 증착 공정의 기능을 확장합니다. 고급 기술 기능, 정확한 가스 전달, 포괄적인 데이터 수집/분석 자산, 레시피 관리 기능 등을 갖춘 AMAT P 5000 은 오늘날의 고급 프로세스 요구 사항을 충족하는 안정적인 솔루션입니다.
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