판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9077991

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 초박막의 정밀 증착을 위해 설계된 고급 화학 증기 증착 장비입니다. 이 다재다능한 도구는 유전체, 금속, 산화물, 질화물 및 폴리 실리콘 층의 증착에 이상적입니다. 높은 처리량과 뛰어난 균일성을 지닌 AMAT P-5000 (AMAT P-5000) 은 까다로운 증착 어플리케이션에 가장 적합한 전원 도구 중 하나입니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 대형 웨이퍼 표면에서 뛰어난 균일성과 균질성을 제공합니다. 빠른 증착률을 허용하는 고출력 전자 빔 건 (beam gun) 이 장착되어 있습니다. 이 전자 빔 건 (electron beam gun) 은 최대 5000 와트의 전력으로 작동하며, 이는 증착 공정이 빠르고 균일성으로 완료 될 수 있음을 의미합니다. APPLIED MATERIALS P-5000 의 유연성을 통해 시간 (time) 과 전원 (power) 설정을 모두 조정하여 최적의 필름 품질을 얻을 수 있습니다. 이 시스템에는 평평한 하단 디자인의 세라믹 챔버가 장착되어 있습니다. 이 "디자인 '은 증착 과정 의 균일성 을 증가 시켜 주며" 필름' 의 두께 를 일관성 있게 유지 시켜 준다. 평평한 바닥형 디자인은 또한 내부 기계적 반사를 제거하고 그림자를 제거하여 완벽한 균일성을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 증착을 위해 고순도, 고순도 원료를 사용합니다. 인사이트 가스 전달 장치 (in-situ gas delivery unit) 는 챔버 조건을 정확하게 제어하기 위해 설계되었으며, 정밀한 양의 원료가 최적의 프로세스 안정성을 위해 챔버 공간 내에 있는지 확인합니다. 유전체, 금속, 산화물 및 폴리 실리콘 층의 최적화 된 증착을 위해 다양한 표준 및 맞춤형 레시피가 제공됩니다. 안전성과 성능 측면에서 P5000 원자로에는 다양한 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 여기에는 전력 모니터링 기계, 할로겐 가스 모니터링 도구, 가스 방전 자산, 압력 누출 탐지기 및 유량 모니터가 포함됩니다. 또한, P-5000 원자로에는 챔버 조건 및 성능에 대한 실시간 정보를 제공하는 고급 모니터링 (advanced monitoring) 모델이 장착되어 있습니다. AMAT P5000 원자로는 초박막 증착을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 높은 처리량과 뛰어난 균일성을 자랑하는 P 5000 은 탁월한 증착 기능과 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 이 강력한 도구는 까다로운 증착 용도에 이상적이며, 증착을 위해 고순도, 고순도 원료를 처리 할 수 있습니다. AMAT P 5000은 정밀하고 최적화된 필름 증착을 위해 설계된 고급 프로세스 도구입니다.