판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056702
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판매
ID: 9056702
빈티지: 1999
PECVD System, 8"
Mark II P5000 mainframe
(4) Chambers
15 slot storage elevator
8” Cassette Handler
Bolt down load luck lid with purge
Phase III robot
Remote Rack with (2) ENI OEM 12B 13.56Mhz generators
Steelhead Heat Exchanger
Thru the wall interface with (2) monitors: (1) TTW, (1) stand alone
PLIS Cabinet
PLIS Minicontroller
DPS generator rack with ENI DPG-10 Generator and DPA Interlock board
Chamber A:
Universal PECVD chamber
Cluster Throttle valve
Gold Style Lamp module
Phase IV RF match
Dual manometers with 100/1000 Torr manometers
Unit 1660 MF calibrated to customer spec
STEC LF-410 LFM’s and 2410 injectors calibrated to customer spec
Chamber B:
Standard PECVD chamber
Cluster Throttle Valve
Gold Style Lamp Module
Phase IV RF Match
Dual manometers with 10/1000 Torr manometers
1660 MFC’s calibrated to customer spec
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 반도체, 박막 반도체 및 자기 재료의 증착, 에칭 및 기타 관련 박막 처리를 위해 특별히 설계된 고성능 가공 장비입니다. 이 도구는 R&D 응용 프로그램뿐만 아니라 볼륨 제작에도 사용됩니다. AMAT P-5000 원자로에는 레이저 및 광 프로세스 모듈과 CPU/DSP 기반 컨트롤러가 있습니다. 레이저 및 광학 프로세스 모듈은 6 축 동작 시스템이며, 정밀 선형 레일에 선형 진공 챔버 (linear vacuum chamber) 가 장착되어 정확하고 반복 가능한 이동이 가능합니다. 레이저 및 광 프로세스 모듈은 고해상도 레이저 장치, 초점 카메라, 광섬유 및 레이저 통신으로 구성됩니다. CPU/DSP 기반 컨트롤러는 가스와 급지대, RF 및 DC 바이어싱, 웨이퍼 온도, 시간, 에너지 및 가속을 포함한 매개 변수에 대한 프로그래밍 가능한 제어를 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로에는 대류 머신 (convection machine) 이 있으며, 이는 다양한 처리 조건에서 여러 온도를 제공 할 수 있습니다. 고속 질량 흐름 컨트롤러 (High-rate Mass Flow Controller) 및 저속 질량 흐름 컨트롤러 (Low-rate Mass Flow Controller) 와 같은 여러 가스 분배 시스템이 장착되어 있습니다. 가스 분포 도구 (gas distribution tool) 는 원자로에서 반응물 종의 시간 및 공간 분포를 제어하는 데 도움이됩니다. 처리 중에 RF (Radio Frequency) 및 DC (Direct Current) 편향을 적용하여 반응에서 활성 종을 생성 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로에는 공정 향상 기능도 많이 있습니다. 고진공 배기 자산 (high-vacuum exhaust asset) 이 모델에 포함되어 부산물 반응의 빠르고 효율적인 대피가 가능합니다. 뿐 만 아니라, 이 장비 는 "웨이퍼 '시료 를 신속 히 사용 하여 그 과정 을 계속 정련 하고 개선 할 수 있도록 설계 되었다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 증착, 에칭 및 기타 관련 박막 처리, 반도체, 박막 반도체 및 자기 재료의 우수한 성능을 달성하기위한 효과적인 도구입니다.
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