판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9037975
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ID: 9037975
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
PECVD System, 8"
Process: SA-BPSG
TEOS with (3) CVD Chambers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 뛰어난 자동화 및 프로세스 제어 기능을 제공하는 화학 증기 증착 (CVD) 플랫폼입니다. AMAT P-5000에는 자동화된 프로세스 제어 및 챔버 제어 하위 시스템이 포함되어 있어 빠르고, 반복 가능하며, 안정적인 고온 증착이 가능합니다. 이 기능을 통해 표면 특성, 필름 두께, 균일성 (unifority) 에 대한 제어가 향상되었으며, 뛰어난 공정 수율을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 금속, 금속 합금 및 금속 산화물 층뿐만 아니라 탄소, 실리콘 옥시 니트 라이드 또는 실리콘 질화물의 증착과 같은 장벽 층 응용 분야에도 사용될 수 있습니다. 원자로는 최대 1200 ° C에 도달 할 수있는 높은 온도 범위를 가지고 있습니다. 이 시스템은 LPCVD (저압, 화학 증기 증착) 및 PECVD (플라즈마 강화 CVD) 를 모두 지원합니다. 원자로에는 자동화 된 공정 컨트롤러, 2 단계 터보 분자 펌핑, 다중 가스 흐름 컨트롤러 및 대량 흐름 컨트롤러가 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 증착 프로토콜을 정확하게 제어 할 수 있으며, 에칭, 어닐링, 산화물 증착, 금속 리프트 오프와 같은 고급 기판 처리를 허용합니다. 또한 뛰어난 표면 마무리 및 강화 된 지형을 허용하는 다양한 고급 연마 (advanced polishing) 기술이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 기존 운영 환경과 손쉽게 통합할 수 있습니다. 즉, 시간 (time) 과 비용 (cost efficient) 이 모두 효율적인 솔루션을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 강력하고 신뢰할 수있는 시스템으로, 뛰어난 품질의 필름 및 기판을 생산할 수 있습니다. 그 자동화 기능 과 공정 제어 기능 은 고정밀 광학, "마이크로일렉트로닉스 '및 기타 부품 을 제조 하는 데 매우 가치 있는 것 으로 증명 되었다. 낮은 유지보수 (maintenance) 와 사용 편이성 (ease of use) 은 제조 환경뿐만 아니라 연구 개발 실험실에서도 사용할 수 있는 이상적인 도구입니다.
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