판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293772866
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ID: 293772866
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
PECVD System, 6"
(2) AC Rack generators
Heat exchanger
(2) Chambers
Loadlock
Monitor
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 금, 구리 및 알루미늄의 증착에 사용되는 고급 증착 도구입니다. AMAT P-5000은 나노 구조 제작, 박막 금속 화, 기타 태양 광 장치 개발 등 다양한 증착 응용 분야에 적합합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 공정 챔버는 최대 5 mTorr의 압력 범위와 최대 950 ° C의 온도 범위에서 작동합니다. 또한 MFC (Mass Flow Controller) 를 장착하여 프로세스 가스 흐름을 정확하게 모니터링하고 제어합니다. 또한, P 5000 은 다양한 맞춤형 옵션을 제공하며, 이를 통해 사용자는 각 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 장비를 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 은 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 시스템을 관리할 수 있는 온보드 컴퓨터에 의해 제어됩니다. 이 컴퓨터는 또한 데이터 수집 (data collection) 및 처리 모니터링 (process monitoring) 을 지원하며 사용자에게 상세한 프로세스 보고서를 제공합니다. 이 장치는 안전한 작동과 최적의 프로세스 제어를 보장하는 안전 기능으로 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 정밀한 프로세스 제어를 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 열 관리 기계 (thermal management machine) 는 공구 내에서 일관된 온도를 유지하는 데 도움이되며, 공정 가스로 인한 오염 위험을 줄이기 위해 화학 도어 (chemical door) 를 장착 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS P5000 (APPLIED MATERIALS P5000) 은 먼 거리에서 프로세스 조건을 모니터링하는 원격 모니터링 및 제어 에셋, 다양한 진공 절차를 용이하게 하는 조정 가능한 상부 전극을 갖추고 있습니다. P-5000 원자로는 광범위한 증착 응용프로그램을 위한 안정적이고, 견고하고, 효율적인 도구입니다. 금, 구리, "알루미늄 '외 에도" 티타늄', "실리콘 '및 질화물 을 포함 한 다른 물질 의 증착 에도 사용 될 수 있다. 다재다능성과 고급 제어 모델은 나노 구조, 태양 전지, 박막 금속화 (Thin-film Metallization) 및 기타 고급 재료의 제작에 이상적인 선택입니다.
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