판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729490

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고급 재료 합성, 증착 및 에칭 프로세스를 수행하도록 설계된 상업용 등급 원자로입니다. 다중 웨이퍼를 병렬로 처리 할 수있는 이중 소스 인덕티브 커플 링 플라즈마 (ICP) 반응기로, 대용량 기판 생산에 이상적입니다. AMAT P-5000에 사용되는 ICP 소스는 13.56MHz 또는 27.12MHz에서 작동할 수 있으므로 광범위한 재료, 프로세스, 응용 프로그램과의 완벽한 호환성을 제공합니다. 프로세스 성능을 모니터링하는 전체 스펙트럼 현장 모니터링 기능도 포함되어 있습니다. ICP 소스는 1000C 정도의 온도에 도달 할 수 있으며, 다양한 고온 프로세스를 허용합니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 프로세스 제어를 최적화하여 DPC (Direct Process Control) 체제와 피드백 체제를 모두 제공합니다. DPC 모드는 우수한 프로세스 제어성을 위해 조절 가능한 가스 흐름, 압력, 형상 및 환경 조건을 허용합니다. 피드백 (feedback) 모드를 사용하면 프로세스 조건을 변경하기 위해 장비를 신속하게 조정할 수 있으므로 프로세스 매개변수를 빠르고 정확하게 최적화할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 고급 자동 웨이퍼 전송 시스템을 사용하여 최대 24 개의 웨이퍼를 병렬로 처리하여 처리량이 높습니다. 로딩 잠금 (Load Lock) 설계는 효율적인 재료 로딩 및 언로드에 적합하며, 현지화된 현장 모니터링 장치 (In Situ Monitoring Unit) 는 배치 및 에칭 프로세스 조건을 실시간으로 모니터링하여 운영자에게 프로세스에 대한 제어를 강화합니다. 또한 P-5000 은 고급 클린 챔버 (clean chamber) 설계와 뛰어난 화학 관리 기능을 제공하며, 자동화된 머신 (machine) 은 화학적 흐름과 측정을 정확하게 조절합니다. 이는 안정적이고 안정적인 프로세스 창을 보장합니다. 이러한 기능을 통해 APPLIED MATERIALS P-5000은 대용량 생산 환경에 적합한 선택으로, 탁월한 프로세스 수익률과 탁월한 프로세스 성능을 제공합니다.