판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690471

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 질화물, 산화물 및 금속과 같은 무기 물질의 에피 택시 박막 증착을 지원하도록 설계된 수직 열 처리 원자로입니다. AMAT P-5000의 독특한 디자인은 고성능, 고순도, 저입자 오염 원자로 챔버를 기반으로합니다. 이 높은 안정성 원자로는 뛰어난 설계 유연성 외에도 뛰어난 박막 처리를 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 ALD (Atomic Layer Deposition), CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 PVD (Physical Vapor Deposition) 와 같은 다양한 증착 프로세스에 적합합니다. 원자로는 원하는 증착 과정에 따라 대기 압력 (Atmo) 또는 고 진공 (HV) 모드에서 작동 할 수 있습니다. 고급 제어 장비는 온도, 압력, 시간 (time) 과 같은 모든 프로세스 요구 사항을 정확하게 제어합니다. 엔지니어는 플래튼, 가스 분배 부품, 샘플 홀더 어셈블리, 전원 공급 장치 등 핵심 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 원자로에는 RF 발전기를위한 고급 RF 매칭 네트워크와 가스 분포, 흐름 제어 및 활성 모니터링을위한 통합 가스 패널이 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 생산성을 고려하여 설계되었으며 대용량 프로세스 펌프, 신속한 실시간 레시피 리콜, 고속 기판 전송 시스템 등 증착 처리량을 극대화하는 여러 가지 고급 기능을 갖추고 있습니다. 강력한 챔버 (chamber construction) 를 통해 원자로는 균일 한 열 전달을 보장하여 증착 결과를 높입니다. AMAT P5000 또한 레시피 기반 자동화 제어 시스템 (Automation Control System) 을 통해 프로세스를 반복하여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 (User-Friendly) 장치에는 많은 안전 표준의 요구 사항을 충족하고 광범위한 문제 해결 지원을 제공하는 통합 안전 장치 (Integrated Safety Machine) 가 있습니다. 다양한 처리 옵션을 제공하기 위해, P5000은 냉각 플레이트, 핫 플레이트, 서셉터 (susceptor) 와 같은 다양한 고급 구성 요소로 사용자 정의할 수 있습니다. 이를 통해 엔지니어는 특정 배치 프로세스에 고유한 컴포넌트를 선택하고 전반적인 운영 처리량을 최적화할 수 있습니다 (영문). AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 고성능 및 신뢰성에 대해 광범위하게 테스트 및 인증을 받았습니다. 신뢰할 수 있고, 반복 가능한 결과와 다양한 사용자 정의 가능한 구성 요소를 통해, 모든 고수율, 정밀 박막 증착 처리 요구 사항에 이상적인 선택입니다.