판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690469

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 고급 처리량이 높은 수직 트랜지스터 장치 구성 장비입니다. 초고성능 디바이스 프로세싱에 사용되며, 탁월한 디바이스 성능, 생산량, 신뢰성을 제공합니다. 이 장치는 직경 1 ~ 6 인치의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 기판 가열에 유도 가열 된 핫 월 석영 받침대를 사용하며, 최대 15 분 동안 최대 500 ° C의 200W 흡수 전력을 사용할 수 있습니다. 최대 온도는 1250 ° C까지 설정할 수 있습니다. 이 시스템에는 자동 플라즈마 클리닝 기능과 컴퓨터 제어 프로세스 제어 장치 (computer-controlled process control unit) 가 함께 제공됩니다. 기판 정렬에 대한 AMAT 페달은 배치 및 단일 웨이퍼 처리가 모두 가능합니다. 또한 프로세스와 전송 모듈 간의 빠른 웨이퍼 전송을 제공합니다. 또한 매우 유연하고 정확한 웨이퍼 처리 기계를 제공합니다. AMAT P-5000 원자로에는 산소 및 실리콘 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 을위한 고급 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 마이크로파 소스가 장착되어 있습니다. 이 프로세스는 고밀도와 고품질 증착을 가능하게합니다. PECVD 원자로는 최대 900 ° C의 온도를 처리 할 수 있으며 분당 최대 6 미크론의 증착 속도를 달성 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 툴에는 온도 및 산소 피드백 (oxygen feedback) 제어 기능도 있으며, 이는 프로세스 매개변수에 대한 최고 수준의 제어 기능을 제공합니다. 또한 조절 가능한 공정 압력 및 플라즈마 에너지 (plasma energy) 를 제공하여 기질 증착 공정에서 고도의 균일 성을 제공합니다. 자산은 또한 투명한 쿼츠 웨이퍼 전송 창을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 광학 현미경, 자외선 (UV) 반사 또는 적외선 (IR) 방사선을 사용하여 챔버와 웨이퍼를 모두 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, P-5000 원자로는 초고성능 장치 처리, 항복, 신뢰성을 제공할 수 있는 고급, 고출력 수직 트랜지스터 장치 구성 모델입니다. 이 제품은 고성능, 저가형 트랜지스터 (트랜지스터) 장치를 제작하는 데 이상적인 다양한 기능과 기능을 제공합니다.