판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293631606
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ID: 293631606
PECVD System, 6"
(2) DhL Process chambers
Missing parts:
Throttle valves
Forelines
ATM Sensor.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 재료의 대량 생산을 위해 설계된 4 챔버 차세대 원자로입니다. 이 시스템은 대용량 (high-volume) 과 고수율 (high-revield) 이 가능하지만 뛰어난 품질을 제공합니다. 이는 원자로의 다중 챔버 설계 (multiple-chamber design) 에 기인하며, 이를 통해 최대 4 개의 다른 프로세스가 순서대로 수행 될 수 있습니다. 이를 통해 고품질 화합물을 효율적으로 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 55KW 3 상 AC 모터로 구동되며, 인터 록 (Interlock) 및 컨택터 (Contactor) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이는 안전하고 효율적인 작동과 효율적인 에너지 사용을 보장합니다. 이 시스템의 외관은 부식 및 마모 저항을위한 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되었으며, 내부에는 4 개의 개별 반응 챔버가 있습니다. 첫 번째 챔버 (First Chamber) 는 가열 전 챔버 (Pre-heating chamber) 이며, 웨이퍼를 추가 재료 공급원으로 취급하고 다른 챔버로 이동하기 전에 추가 사전 처리 단계로 사용됩니다. 제 2 챔버는 실제 반응 챔버로, 원하는 반응이 수행된다. 제 3 챔버는 퇴화 챔버이며, 여기서 반응의 부산물이 제거된다. 마지막으로, 4 번째 챔버는 처리 후 챔버 (post-treatment chamber) 로, 물질의 추가 조작을 수행 할 수 있습니다. 설계 상, AMAT P-5000 은 생산비용이 낮은 대용량 제품으로 고품질 제품을 생산할 수 있습니다. 또한 다양한 소프트웨어 (Software) 와 자동화 (Automation) 기능이 장착되어 있어 수작업을 최소화하면서 쉽게 운영할 수 있습니다. 이는 대용량 생산 응용 프로그램 및 반도체 제작에 이상적입니다.
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