판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293622411

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 생산 규모의 원자층 증착 원자로입니다. 이 원자로는 질화물, 산화물, 플루오린화물을 큰 기질로 고도로 침전시키기 위해 설계되었습니다. 원자로 (Reactor) 는 멀티 스테이지 플랫폼 (Multi-Stage Platform) 을 기반으로 제작되어 여러 계층의 서로 다른 재료를 단일 실행으로 증착 할 수 있습니다. 처리 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 웨이퍼 전체에 균일 한 온도를 보장하기 위해 흑연 (Graphite) 의 석영 서셉터로 지원됩니다. 원자로는 목표 증착률이 30-200 A/min인 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM) 장비로 구동됩니다. 퇴적 된 필름은 두께, 등각 및 핀홀이 없습니다. AMAT P-5000은 정밀 이중 레벨 ABC 자동 교정 시스템 (Auto-Calibration System) 을 특징으로하며, 이는 0.5 ° C의 오차 한계로 기판 온도를 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 Circuit Breaker Machine 및 Over/Under Temperature Shutoff와 같은 고급 안전 기능입니다. 이 안전 시스템은 온도가 안전 한계를 초과하여 웨이퍼 손상 (wafer damage) 의 위험을 없앨 경우 챔버 (chamber) 에 전력을 차단합니다. 또한, 선택적 퍼지 공구는 핀홀 프리 필름 (pinhole-free film) 을 생성하기 위해 챔버 내부에서 입자와 가스의 감지 및 제거를 보장한다. APPLIED MATERIALS P 5000은 고급 멀티 채널 가스 관리 자산도 제공합니다. 이 모델은 증착 시퀀스의 정확하고 안정적인 제어를 위해 설계되었습니다. 여기에는 특수 소프트웨어 (Special Software) 가 포함되어 있어 필름 품질 및 처리량을 최적화하는 모든 프로세스 매개변수를 평가할 수 있습니다. 무엇보다도 AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 유연하고 사용자 정의가 가능합니다. 사용자에게는 고유한 프로세스 시퀀스 (process sequence) 를 설정하고, 특정 애플리케이션 요구에 맞게 배치 매개변수를 조정할 수 있는 옵션이 있습니다. 전반적으로, AMAT P5000 원자층 증착 원자로는 박막의 고품질 증착을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고급 안전 (Safety) 기능과 정확한 제어 시스템을 제공하여 품질과 일관성을 보장합니다. 사용자 정의 가능한 플랫폼과 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해, 이 원자로는 질화물, 산화물, 불소의 생산 규모 증강에 이상적인 선택입니다.