판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293620899

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
판매
ID: 293620899
System Process: Nitride.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 최대 6 인치의 기질에서 박막, 코팅 및 유전체의 강착에 사용되는 고온 화학 증기 증착 (HTCVD) 원자로입니다. 이 제품은 듀얼 (dual), 콜드 월 (cold-wall) 석영 튜브 설계를 갖추고 있으며, 동시에 기판 양쪽에 재료를 증착 할 수 있습니다. 이중 튜브 디자인은 최적화 된 냉각 존 (cooled zone) 레이아웃과 결합하여 매우 균일 한 박막 레이어를 증착 할 때 입자 드리프트 (drift) 의 효과를 최소화하도록 설계되었습니다. AMAT P-5000은 최대 1200C 이상의 온도에서 작동 할 수 있으며, 이산화규소, 질화 실리콘, 질화 탄탈륨, 기타 다양한 금속 질화물 및 산화물을 포함한 광범위한 물질의 증착을 달성합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 (APPLIED MATERIALS P 5000) 의 가열 장비는 세라믹 기반 난로를 사용하며, 이는 기판 전체의 최소 온도 구배가있는 빠른 스타트 업 및 균일 한 온도를 위해 설계되었습니다. P5000에는 온보드 광학 분광학 시스템 (Optical Spectroscopy System) 이 장착되어 있어 현장 모니터링 및 필름 증착 제어가 가능합니다. 또한, 동적 압력 제어 장치 (dynamic pressure control unit) 를 가지고 있으며, 반복 가능한 기판 온도, 가스 흐름 및 목욕 압력을 유지함으로써 프로세스 반복성을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 (AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000) 에는 공정 가스의 전환을 허용하는 여러 밸브와 실레인 생성 재료의 제어를 위해 여러 개의 밸브가 장착되어 있어 필름이 기판에 균일하게 배치됩니다. 가스원은 차폐 배관 시스템을 통해 P-5000에 전달되어 오염 가능성을 최소화합니다. APPLIED MATERIALS P5000에는 프로세스 가스를 정화하기위한 자동 입자 필터 머신 (automatic-in, automatic particle filter machine) 이 내장되어 있어 최고 품질의 필름을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000은 다양한 증착 시스템에 쉽게 통합될 수 있도록 설계되었으며, 보다 단순하고 경제적인 구성 프로세스를 제공합니다. 또한, 손쉽게 서비스 및 유지 관리할 수 있도록 설계되어, TCO (총 소유 비용) 를 더욱 절감할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 HTDV 기술의 최신 개발을 통합하여 다양한 어플리케이션을 위한 고품질, 고출력 필름, 코팅, 이산기 생산에 이상적입니다. 대학, 연구, 고급 제조 기관, 자동차, 의료 기기 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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