판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293610620
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ID: 293610620
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
CVD System, 8"
VME Type: Hard disk
21-Slots controller
SBC Board type: V21 Synergy
VGA Video board
Robot type: Phase-III
8-Slots storage elevator
No WPS sensor
Standard slit valve
Heat exchanger
Floppy Disk Drive (FDD): 3.5"
Standard cassette handler
I/O Wafer sensor
No Load lock slow vent
Load lock purge
Exhaust line type: Top, standard
Gas panel: (28) Gas lines
Chamber type:
Chamber A: Universal CVD
Chamber B: Standard CVD
Chamber A, B:
Process: PECVD Oxide
Process kit: Susceptor
MKS Manometer, 100 Torr
Clean method: RF Clean
Throttle valve: Direct drive dual spring W/C plug
Gas box MFC: AERA
Lamp driver
ENI OEM-12B RF Generator
RF Match: Phase-IV
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 공정 응용 분야를 위해 특별히 설계된 고급 원자로 챔버입니다. 원자로 챔버 (Reactor Chamber) 는 다양한 어플리케이션에서 뛰어난 성능과 제어를 제공할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 원자로 챔버는 고품질 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 부식 보호를 위해 질화물을 처리합니다. 챔버는 반경 30.7cm, 챔버 너비 45.7cm, 챔버 높이 39cm 인 AMAT P-5000 웨이퍼 처리를 위해 구성됩니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로 챔버는 완전히 자동화 된 공정 제어 시스템을 사용하여 챔버 압력, 온도, 기판 온도, 열주기, 가스 흐름 등 다양한 사용자 정의 매개변수를 허용합니다. 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 에는 프로세스 정보를 저장하는 임베디드 데이터 로거 (Embedded Data Logger) 도 포함되어 있으며 트렌드를 분석하고 특정 응용 프로그램에 가장 적합한 매개변수를 결정할 수 있습니다. 이를 통해 처리 결과의 신뢰성과 정확성이 향상됩니다. 원자로 챔버에는 2 개의 개별 가스 매니 폴드와 조절기가있는 가스 패널도 포함되어 있습니다. "가스 '" 패널' 은 각 매니 폴드 가 제공 하는 "가스 '와" 가스' 의 압력 과 유량 을 제어 한다. 이렇게 하면 프로세스 조건을 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로 챔버는 환경 파편, 먼지 및 기타 입자가 없는 작업 환경에 설치되도록 설계되었습니다. 챔버에는 정전기 케이블 (static discharge cable) 이 장착되어 챔버 내 정전기 증설을 최소화합니다. 챔버에는 자동 질소 제거 시스템과 입구 포트가 장착되어 있습니다. "인렛 '" 포트' 는 가열 된 질소 및 기타 공정 "가스 '를 약실 로 전달 할 수 있도록 설계 되었다. 이를 통해 프로세스 효율성과 일관성을 극대화할 수 있습니다. 또한 P 5000 원자로실은 쉽고 간단하게 유지 보수하도록 설계되었습니다. 챔버 (Chamber) 에는 챔버 내에 분리 가능한 상하 (Top and Bottom seal) 가 포함되어 있으며, 챔버를 주기적으로 청소하고 서비스 할 수 있도록 쉽게 제거 할 수 있습니다. 따라서 다운타임이 줄어들고, 사용자가 중단 없이 계속 처리할 수 있습니다. AMAT P5000 원자로 챔버는 반도체 처리 응용 분야를위한 고급적이고 안정적인 도구입니다. 이 기능은 다양한 애플리케이션에 적합하며, 유지 보수는 간단하고 효율적입니다. 이 원자로 챔버 (Reactor Chamber) 는 적절한 가동 및 유지 관리를 통해 고품질의 결과와 안정적인 장기 가동을 보장할 수 있습니다.
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