판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293606183

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 (AMAT/APPLIED MATERIALS P5000) 은 다양한 기판에 박막을 배치하여 다양한 전자, 광학 및 기타 고급 재료를 생산할 수 있도록 설계된 멀티 챔버 증착로입니다. AMAT P-5000은 ALD, PVD 및 PECVD와 같은 공정에 반도체 파운드리, 평면 패널 디스플레이 생산자 및 태양 전지 및 메모리 장치 제조업체에서 사용되었습니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 제조 속도를 높이고 소유 비용을 절감하는 한편, 일관된 공정 성능을 제공하도록 설계된 화학 증기 증착 원자로입니다. 최대 4 개의 챔버로 구성된 고속 챔버 스위칭 (high-rate chamber switching) 및 모듈식 병렬 처리가 가능하며, 효율적인 열 전달 및 배기 시스템을 갖추고 있습니다. P5000은 고효율 온도 조절 시스템 (HI-efficient Temperature Control System) 을 통해 사이클링 시간과 기판 가열 시간을 첫 번째 챔버에서 마지막까지 줄입니다. 또한 모듈식 프로세스 제어 시스템 (modular process control system) 이 장착되어 있어 사용자는 일관성 있고 반복 가능한 프로세스 매개변수를 위해 각 챔버를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 또한 AMAT P5000 은 단일 챔버 (single chamber) 에서 여러 프로세스를 수행할 수 있으므로 처리량이 높고 챔버 간 웨이퍼 전송에 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000 은 다양한 프로세스 옵션을 지원하며, 자동화된 챔버 구성 및 EOL (End-of-Run) 통신을 갖추고 있어 유전체, 장벽, 에치 프로세스 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 자가 진단 (self-diagnostic) 기능은 온보드 유지 보수 및 프로세스 프로그래밍을 통해 액세스 할 수 있으며, 이를 통해 문제 해결이 쉽고 장애 또는 프로세스 이상에 대한 신속한 반응이 가능합니다. APPLIED MATERIALS P5000에는 RF, 고주파, 직류 스퍼터링, 핫 및 콜드 아톰 빔 소스 등 다양한 소스 유형이 장착 될 수 있습니다. 또한 원격 유지 보수 (remote maintenance) 기능을 통해 프로세스 및 유지 보수 엔지니어의 커뮤니케이션 및 지원을 단순화할 수 있습니다. 그 외에도 이트륨 (yttrium) 기반 소스를 포함한 다양한 액세서리 (균일성 향상) 와 티타늄 (titanium) 소스 헤드 (보호 기능 향상) 가 있습니다. 전반적으로, AMAT P 5000 원자로는 높은 균일성과 공정 반복성을 제공하여, 빠른 속도와 저렴한 비용으로 다양한 전자, 광, 기타 고급 재료를 생산할 수 있습니다. 프로세스 제어 시스템 (process control system) 은 광범위한 애플리케이션에 적합하며, 원격 유지 관리 기능은 문제 해결 및 유지 관리 작업을 단순화하는 데 도움이 됩니다.