판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293600406

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 화학 증기 증착 (CVD) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 과 같은 생산 공정에 사용되는 최첨단 열 공정 원자로입니다. 기판 표면을 따라 가장 높은 균일성과 온도를 제공하며, 빠른 기판 사이클링을 위해 최대 400 ° C/min의 공정 역학을 제공합니다. 이 장치는 독점적 인 노즐 (nozzle) 디자인의 자동 하이드 픽스 축 (hydrofixed axis) 동작 플랫폼에서 작동하여 일관되고 균일 한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT P-5000은 컨트롤 박스, 진공 챔버, 로드 락 2 개, 로봇 트랜스퍼 암 (transfer arm) 을 포함하는 견고한 시스템입니다. 고온 SiC 챔버, 초저압 챔버, 반고압 챔버 등 다양한 공정 챔버를 제공합니다. 이 챔버 (chamber) 는 동일한 생산 주기 동안 단일 웨이퍼에서 여러 프로세스를 수행할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 모듈식으로 설계되어 추가 챔버 (chamber) 및 내부 클리닝 (in-situ cleaning) 등 다양한 업그레이드가 가능합니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 고급 제어 기술이 적용되어 온도, 압력, 가스 흐름 등의 매개변수에 대한 정밀 프로세스 제어가 가능합니다. 디지털 프로세스 제어는 원자로 챔버 (reactor chamber) 수준뿐만 아니라 터치 패널 (touch panel) 운영자를 통해 원격으로 제공됩니다. 이러한 첨단 제어 기술을 통해 프로세스 제어를 철저히 수행할 수 있으며, 반복 가능성과 최소한의 변동성으로 높은 수율을 얻을 수 있습니다. 통합 레시피 시스템은 빠른 레시피 생성, 사용 및 전송을 위해 단계를 프로그래밍하는 기능을 제공합니다. P5000 은 대용량 제조와 더불어 소용량 배치 (small batch) 런의 수동/자동 생산에 유연성을 제공합니다. 설치, 유지 보수가 간편하고, 유지 보수 처리 시간을 단축하고, 다운타임을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 작동 패널 가드 (operator panel guard) 를 포함한 고급 안전 기능은 작업을 수행하는 동안 인력을 기계에서 멀리합니다. AMAT P 5000은 고품질, 반복성 및 유연성을 제공하는 이상적인 생산 도구입니다. 디스플레이· 태양광· 마이크로일렉트로닉스 등 다양한 정교한 제품을 생산할 수 있다. APPLIED MATERIALS P5000 은 성능과 일관성을 결합한 독보적인 제품으로, 대용량 제조 프로세스에 적합한 솔루션입니다.