판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594320

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 (AMAT/APPLIED MATERIALS P5000) 은 광범위한 재료를 처리하기 위해 일관성 있고 반복 가능한 제작 환경을 제공하도록 설계된 생산 규모 원자로입니다. 5 웨이퍼 배치 로딩 기능이있는 200mm 챔버 (chamber) 를 포함한 기능은 반도체 프로세스 제어를 위해 매력적인 선택입니다. 공사에는 200mm 챔버에 연결된 크고 평평한 석영 창이있는 광학 창 (optical window assembly) 이 포함됩니다. 이 창에서는 광학 분석 (Optical Analysis) 을 향상시키고 처리 전후에 프로세스 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 또한 AMAT P-5000에는 통합 온도 제어 모듈이 있습니다. 이 모듈은 도가니, 필라멘트 (filament) 및 웨이퍼 온도 모니터링의 조합과 프로세스 일관성을 위한 정밀 히터 제어를 사용합니다. 온도 조절 모듈 (temperate control module) 은 또한 원자로 챔버의 온도를 조절하고 유지하는 데 사용될 수있다. APPLIED MATERIALS P 5000에 추가 된 파워 트레인은 압력, 입자 크기, 유속, 혼합 등 많은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 저항 가열 요소를 결합하여 원자로 챔버 (reactor chamber) 에 정확하고 반복 가능한 열 입력 및 프로그램 가능한 발전소 (power station) 를 제공하여 웨이퍼 로딩 및 언로드를 용이하게합니다. P-5000은 헬륨 기반 퍼지 시스템을 사용하여 원자로 챔버에서 깨끗하고 오염 없는 환경을 유지합니다. 컴퓨터 제어 순환 시스템은 웨이퍼 오염과 웨이퍼 표면에 "그림자 (shadow)" 형성을 모두 방지합니다. 추가 청결성을 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000에는 업스트림 컨트롤러 및 스크러버가 장착 된 진공이 가능합니다. AMAT P5000 포지셔너는 모션 작업 프로그램 (Motion Task Program) 과 모션 프로세서 장치 (Motion Processor Unit) 를 사용하여 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있습니다. 포지셔너는 광학 분석 (optical analysis) 을 위해 광학 창 어셈블리의 웨이퍼 관찰 포트와 함께 작동합니다. APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 매우 다재다능한 시스템으로, 안정적이고 재현 가능한 환경에서 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 반도체 업계의 "선형 (linear) '과" 비선형 (non-linear)' 확장이 가능하다.