판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594313

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 제조에 사용되는 단일 웨이퍼 원자로입니다. 이 원자로는 CMP (chemical-mechanical polishing), 산화, 질화 및 금속 및 절연 물질의 증착과 같은 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 다목적 설계를 통해 최신 고성능 집적 회로 (HPG) 의 생산에 이상적인 도구입니다. AMAT P-5000 원자로는 흐름 유형 프로세스를 사용하여 반응 챔버 내에서 환경을 정확하고 일관되게 제어합니다. 이 흐름 공정 은 또한 다른 과정 에서 사용 되는 "가스 '혼합물 을 철저 히 제어 할 수 있게 해 준다. 반응 챔버에는 다수의 반응성 플라즈마 소스와 고급 웨이퍼 (wafer) 운송 시스템이 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 여러 가지 기능을 제공하여 뛰어난 성능을 제공합니다. 전체 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 엄청난 범위의 범위가 있으며, 이 프로세스를 통해 원하는 결과가 생성됩니다. 통합 CMP 시스템은 슬러리, 고정 연마제 및 CMP (chemical-mechanical planarization) 와 같은 여러 기술을 지원하여 전체 웨이퍼에 걸쳐 뛰어난 평면 성을 제공합니다. 이 플랫폼은 또한 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리 및 처리를 보장하는 고정밀 (high-precision) 로봇 암 (robotic arm) 을 갖추고 있으며, 반응 챔버 내에서 웨이퍼를 정확하게 배치하고 중요한 응용 프로그램에 대한 결과의 최적화를 가능하게합니다. 프로세스 전반에 걸쳐 일관되게 반복될 수 있도록 레시피 관리 (recipe management) 가 자동화되었으며, 여러 프로세스 변수를 처리할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000 원자로는 처리 중에 정확한 제어가 유지되도록 우수한 온도 변화 및 모니터링을 제공합니다. 또한, 향상된 반응 가스 제어 (reactive gas control) 를 제공하여 원하는 가스만 반응에 사용합니다. 마지막으로, 원자로 (reactor) 는 고급 레시피를 지원하여 도전적이고 복잡한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 매우 정교하고 다양한 도구로서, 다양한 반도체 제조 공정에 적합합니다. 정밀한 프로세스 제어를 달성하는 고급 균일성과 반복 성을 갖추고 있습니다. 온도 변화, 정밀 반응 가스 제어, 자동 레시피 관리 및 기타 고급 기능으로 탁월한 품질과 생산성을 제공합니다.