판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587332

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 시리즈는 증발, 스퍼터 및/또는 플라즈마 소스를 사용하는 기판에 등각, 균일 및 핀홀이없는 박막 코팅을 만드는 경제적, 다목적, 저비용 배치 증착 원자로입니다. AMAT P-5000 시리즈는 마이크로 전자, 광전자, MEMS, 전원 장치 및 기타 응용 프로그램의 반도체 및/또는 nanofabrication 스케일 생산을 위해 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 시리즈는 운영 범위에 비해 높은 반복성, 안정성, 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 능률적이고 모듈식 (modular) 방식을 통해 다양한 요구 사항을 충족하고 손쉽게 튜닝할 수 있습니다. P-5000 은 고급 연속 흐름 (continuous-flow) 원자로 설계를 통해 코트가 어려운 구조와 기판에서도 균일성과 적용 범위를 달성 할 수 있습니다. 원자로에는 가변 속도 펄스 (variable-rate pulsed) 전원이 장착되어 있어 사용자가 증착율을 면밀히 모니터링 할 수 있습니다. AMAT P5000 시리즈는 TCO (총소유비용) 를 낮추고, 고출력 (HPD) 을 제공하며, 예비 부품 및 유지 보수 비용이 줄어듭니다. 배치 증착 공정에 대한 경제적 인 솔루션으로서, APPLIED MATERIALS P5000 시리즈에는 진공 분리 오염 방지 필터 (vacuum-isolated anti-contamination filter) 와 같은 기능이 포함되어 있으며, 이는 부산물로부터 오염을 방지하는 데 사용될 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 시리즈는 단일 또는 2-펌프 2 단계 확산 펌핑 시스템 및 극저온 냉각 작동에 의존하여 초저압 (< 1 x 10-7 Torr) 및 효율적인 온도 제어를 달성하여 필름 성능에 대한 열 효과를 최소화합니다. 원자로는 객실 온도 ~ 500 ° C 이상의 온도가 필요한 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 사용자 유연성 향상을 위해 APPLIED MATERIALS P-5000 시리즈는 목표 두께, 균일성 및 반복성 (전원 수준, 증착률, 필름 두께 및 시간 단계) 에 대한 네 가지 제어 매개변수를 제공합니다. 이 장치는 또한 여러 프로세스 센서를 갖추고 있으며, 대규모 데이터 획득 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. AMAT P 5000 시리즈에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함되어 있어 원격 작동이 가능하며, 지식이 풍부한 인력이 시스템을 자주 조정하지 않고도 적립을 효과적으로 관리할 수 있습니다. 추가 사용자 지정이 필요한 경우 향후 업데이트 및 업그레이드가 가능합니다. 이 시스템은 긴 서비스 수명을 위해 제작되었습니다.